特許

J-GLOBAL ID：201703017708515505

13族窒化物結晶の製造方法および13族窒化物結晶の製造装置

発明者： 佐藤 隆 ,  三好 直哉 ,  和田 純一 ,  林 昌弘 ,  皿山 正二
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-158492
公開番号（公開出願番号）：特開2017-036180
出願日： 2015年08月10日
公開日（公表日）： 2017年02月16日
要約：

【課題】クラック発生の低減を図り、結晶製造の歩留まり向上を図る。【解決手段】アルカリ金属と13族元素とを含む混合融液と、窒素とを反応させて種結晶からフラックス法により13族窒化物結晶を製造する13族窒化物結晶の製造方法において、前記混合融液を保持する反応容器として、窒化物を主材料とし、0.1wt%〜20.0wt%の酸化物材料を含有した反応容器を用いることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

アルカリ金属と13族元素とを含む混合融液と、窒素とを反応させて種結晶からフラックス法により13族窒化物結晶を製造する13族窒化物結晶の製造方法において、 前記混合融液を保持する反応容器として、窒化物を主材料とし、0.1wt%〜20.0wt%の酸化物材料を含有した反応容器を用いることを特徴とする、13族窒化物結晶の製造方法。

IPC (3件)：

C30B 9/06 ,  C30B 29/38 ,  H01L 21/208

FI (3件)：

C30B9/06 ,  C30B29/38 D ,  H01L21/208 Z

Fターム (16件)：

4G077AA02 ,  4G077BE15 ,  4G077CC04 ,  4G077EG02 ,  4G077EG18 ,  4G077HA02 ,  4G077HA06 ,  4G077LA01 ,  4G077LA03 ,  5F053AA50 ,  5F053BB01 ,  5F053BB12 ,  5F053DD20 ,  5F053FF04 ,  5F053GG01 ,  5F053HH04