特許
J-GLOBAL ID：201703017793242172
荷電粒子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-158900
公開番号（公開出願番号）：特開2015-032359
特許番号：特許第6184793号
出願日： 2013年07月31日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】荷電粒子線源から放出された荷電粒子ビームの放出された方向に対する電流量の分布を計測するための分布検出部と、
前記分布検出部が測定した前記荷電粒子ビームの電流分布から試料に照射される電流の変動を予測する変動予測部と、
前記変動予測部の予測結果を基に、前記試料に照射する電流の位置を判断する位置判断部と、
前記位置判断部の判断に基づき、前記試料に照射する前記荷電粒子ビームを取得する位置を制御する位置制御部とを備える、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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