特許
J-GLOBAL ID：201703017924396235
オゾン発生装置、及び、オゾン発生方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-247804
公開番号（公開出願番号）：特開2014-094863
特許番号：特許第6175721号
出願日： 2012年11月09日
公開日（公表日）： 2014年05月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】流路板を所定枚数積み重ねて構成され、前記流路板のガス出口側端面に、中空部を有するセラミック部材の該中空部内に電極線が非接触状態で配置されてなる放電電極が設けられ、
前記中空部内が真空であることを特徴とするオゾン発生装置。
IPC (3件)：
C01B 13/11 ( 200 6.01)
, H01L 21/3065 ( 200 6.01)
, H01T 23/00 ( 200 6.01)
C01B 13/11 A
, H01L 21/302 101 E
, H01T 23/00
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る
