特許

J-GLOBAL ID：201703017957802468

ウェーハ研削装置、測定装置及び測定方法

発明者： 金城 裕介
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-063552
公開番号（公開出願番号）：特開2017-181064
出願日： 2016年03月28日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：

【課題】簡易な構成で切削溝の底とウェーハの裏面との距離を測定するウェーハ研削装置、測定装置及び測定方法を提供する。【解決手段】可視光を照射する照射部80と、照射部に対向して設けられた受光部84であって、受光した光に応じた信号を出力する受光部と、表面に切削溝2が形成されたウェーハWを照射部と受光部との間に保持する保持部36と、照射部から照射された可視光のうちウェーハを透過した透過光に対する受光部の出力信号に基づいて、切削溝の底とウェーハの裏面との距離を測定する測定部と、を備えた。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

可視光を照射する照射部と、 前記照射部に対向して設けられた受光部であって、受光した光に応じた信号を出力する受光部と、 表面に切削溝が形成されたウェーハを前記照射部と前記受光部との間に保持する保持部と、 前記照射部から照射された可視光のうち前記ウェーハを透過した透過光に対する前記受光部の出力信号に基づいて、前記切削溝の底と前記ウェーハの裏面との距離を測定する測定部と、 を備えた測定装置。

IPC (5件)：

G01B 11/02 ,  H01L 21/304 ,  B24B 49/12 ,  B24B 7/04 ,  B24B 49/02

FI (5件)：

G01B11/02 Z ,  H01L21/304 631 ,  B24B49/12 ,  B24B7/04 A ,  B24B49/02 Z

Fターム (33件)：

2F065AA06 ,  2F065AA30 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065DD16 ,  2F065GG21 ,  2F065GG23 ,  2F065HH15 ,  2F065LL01 ,  2F065LL67 ,  2F065MM04 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ25 ,  3C034AA08 ,  3C034BB93 ,  3C034CA02 ,  3C034CA22 ,  3C034CB02 ,  3C034DD01 ,  3C043BA04 ,  3C043BA09 ,  3C043CC04 ,  3C043CC12 ,  3C043DD04 ,  5F057AA14 ,  5F057BA11 ,  5F057CA14 ,  5F057DA11 ,  5F057EB20 ,  5F057GA16 ,  5F057GB02 ,  5F057GB13