特許
J-GLOBAL ID：201703018094725164
めっき装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡邉 勇
, 廣澤 哲也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-061739
公開番号（公開出願番号）：特開2014-185375
特許番号：特許第6100049号
出願日： 2013年03月25日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 めっき液を保持するめっき槽と、
前記めっき槽内のめっき液に浸漬させて配置されるアノードと、
被めっき体を保持し前記アノードと対向する位置に該被めっき体を配置するホルダと、
前記アノードと前記ホルダで保持した被めっき体との間に配置され、前記めっき槽内のめっき液を攪拌するパドルと、
前記パドルを支持するパドル支持機構と、
前記パドルを被めっき体と平行に往復運動させるパドル駆動部と、
前記パドルの往復運動のストロークを変動させるストローク変動機構とを備え、
前記パドル支持機構は、前記パドル駆動部に連結されたシャフトと、前記シャフトに取り付けられ、前記シャフトの軸方向に移動自在なパドル支持部材とを有し、
前記ストローク変動機構は、前記シャフトに固定されたフランジと、前記パドル支持部材と前記フランジとの間に配置された弾性部材とを有することを特徴とするめっき装置。
IPC (2件)：
C25D 21/10 ( 200 6.01)
, C25D 7/12 ( 200 6.01)
C25D 21/10 301
, C25D 7/12
