特許
J-GLOBAL ID：201703018122571097
電子銃装置、描画装置、電子銃電源回路のリーク電流測定方法、及び電子銃電源回路のリーク電流判定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
池上 徹真
, 須藤 章
, 松山 允之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-047094
公開番号（公開出願番号）：特開2014-175173
特許番号：特許第6118142号
出願日： 2013年03月08日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 カソードと、
接地されたアノードと、
前記カソードと前記アノードとの間に配置されたウェネルトと、
前記カソードと前記アノード間に加速電圧を印加する加速電圧電源回路と、
前記加速電圧電源回路の陰極と前記ウェネルトとの間に電気的に接続されるように配置され、前記ウェネルトにバイアス電圧を印加するバイアス電圧電源回路と、
前記カソードにフィラメント電力を供給するフィラメント電力供給部と、
前記加速電圧電源回路と前記カソードとの間に電気的に直列に接続されるように配置された第1の電流検出部と、
前記加速電圧電源回路に対して前記第1の電流検出部と電気的に並列に接続されると共に、前記加速電圧電源回路と前記ウェネルトと前記バイアス電圧電源回路との間に電気的に直列に接続されるように配置された第2の電流検出部と、
前記加速電圧電源回路に対して前記第1の電流検出部と前記第2の電流検出部とにそれぞれ電気的に直列に接続されるように配置された第3の電流検出部と、
を備え、
前記第1と第2と第3の電流検出部は、前記カソードと前記アノード間に前記加速電圧が印加され、前記ウェネルトと前記アノード間に前記加速電圧と同電位のバイアス電圧が印加され、及び前記カソードにフィラメント電力を供給しない状態で、それぞれ電流値を測定することを特徴とする電子銃装置。
IPC (2件)：
H01J 37/04 ( 200 6.01)
, H01J 37/305 ( 200 6.01)
H01J 37/04 A
, H01J 37/305 B
