特許
J-GLOBAL ID：201703018161043235
MEMSマイクロポンプの機能不全検出のための方法及びシステム
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
結田 純次
, 竹林 則幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-516485
特許番号：特許第6088499号
出願日： 2012年06月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】入口弁、出口弁、ポンピング・チャンバ、ポンピング・チャンバ内での流体圧力を測定するために適合された内部圧力センサを含むポンプの潜在的な過小又は過剰送達を含む故障を検出するための方法であって、該方法は、
流体圧力に基づいて基準値を決定すること;
ポンプが動いていないとき、内部圧力センサによって流体圧力の測定を行うこと;
ポンプのタイトネスを決定するか又はポンプ自由流れを見積もるために前記流体圧力の測定値と前記基準値を考慮する数学的モデルを使用することを含んでなる、上記方法。
IPC (2件)：
F04B 43/04 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
