研磨パッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：辻居幸一 , 熊倉禎男 , 弟子丸健 , 松下満 , 倉澤伊知郎 , 吉野亮平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-288510
公開番号（公開出願番号）：特開2014-128858
特許番号：特許第6168335号
出願日： 2012年12月28日
公開日（公表日）： 2014年07月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】研磨面に複数の溝が形成された研磨パッドであって、前記溝の表面の流体抵抗を低減させる流体抵抗低減構造を前記溝の表面に備え、前記流体抵抗低減構造は、前記溝の延伸方向に沿って延びる複数の三角柱状体を備えたリブレット構造または複数の凹部を備えたディンプル構造によって構成されている、ことを特徴とする研磨パッド。

IPC (2件)：