特許
J-GLOBAL ID:201703018171009760
研磨パッド
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
辻居 幸一
, 熊倉 禎男
, 弟子丸 健
, 松下 満
, 倉澤 伊知郎
, 吉野 亮平
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-288510
公開番号(公開出願番号):特開2014-128858
特許番号:特許第6168335号
出願日: 2012年12月28日
公開日(公表日): 2014年07月10日
請求項(抜粋):
【請求項1】 研磨面に複数の溝が形成された研磨パッドであって、
前記溝の表面の流体抵抗を低減させる流体抵抗低減構造を前記溝の表面に備え、
前記流体抵抗低減構造は、前記溝の延伸方向に沿って延びる複数の三角柱状体を備えたリブレット構造または複数の凹部を備えたディンプル構造によって構成されている、
ことを特徴とする研磨パッド。
IPC (2件):
B24B 37/26 ( 201 2.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (2件):
B24B 37/26
, H01L 21/304 622 F
引用特許:
出願人引用 (4件)
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研磨パッドおよびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-118514
出願人:JSR株式会社
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研磨パッド
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-210000
出願人:株式会社クラレ
-
研磨用定盤
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-020554
出願人:虹技株式会社
-
タイヤ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-029274
出願人:株式会社ブリヂストン
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審査官引用 (4件)
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研磨パッド
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-210000
出願人:株式会社クラレ
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研磨パッドおよびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-118514
出願人:JSR株式会社
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研磨用定盤
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-020554
出願人:虹技株式会社
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タイヤ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-029274
出願人:株式会社ブリヂストン
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