特許
J-GLOBAL ID：201703018366923360
レーザー加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
, 平川 さやか
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-115554
公開番号（公開出願番号）：特開2014-233731
特許番号：特許第6148075号
出願日： 2013年05月31日
公開日（公表日）： 2014年12月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を集光して照射する対物集光レンズを備えたレーザー光線照射手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物の上面高さ位置を検出する高さ位置検出手段と、該対物集光レンズを該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向(Z軸方向)に移動せしめる集光点位置調整手段と、該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段とを加工送り方向(X軸方向)に相対的に加工送りする加工送り手段と、該チャックテーブルのX軸方向位置を検出するためのX軸方向位置検出手段と、該集光点位置調整手段と該加工送り手段および表示手段に制御信号を出力する制御手段と、を具備するレーザー加工装置において、
該制御手段は、該加工送り手段を作動して該チャックテーブルに保持された被加工物をX軸方向に移動しつつ該高さ位置検出手段を作動して被加工物の高さ位置を計測して得た高さ計測値と該X軸方向位置検出手段からの検出信号に基づくX座標とを記憶する記憶手段を具備しており、該加工送り手段を作動して該チャックテーブルに保持された被加工物をX軸方向に移動しつつ該記憶手段に記憶されたX座標に対応する高さ計測値に基づいて該集光点位置調整手段を制御するとともにX座標に対応する高さ位置の基準高さ位置に対する変位量をX座標と対応して表示手段に表示して、該表示手段に表示するX座標と対応した該変位量のブレ幅が許容範囲であれば該レーザー光線照射手段の作動を可とし、X座標と対応した該変位量のブレ幅が許容範囲外である場合には該レーザー光線照射手段の作動を不可とする、
ことを特徴とするレーザー加工装置。
IPC (4件)：
B23K 26/046 ( 201 4.01)
, B23K 26/00 ( 201 4.01)
, B23K 26/02 ( 201 4.01)
, H01L 21/301 ( 200 6.01)
B23K 26/046
, B23K 26/00 M
, B23K 26/00 Q
, B23K 26/02 A
, H01L 21/78 B
