特許

J-GLOBAL ID：201703018403274130

液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置

発明者： 杉山 和裕 ,  藤田 政利 ,  鈴木 雅登 ,  塚田 謙磁 ,  川尻 明宏 ,  橋本 良崇
出願人/特許権者： 富士機械製造株式会社
代理人 (1件)： 加古 宗男
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012080578
公開番号（公開出願番号）：WO2014-083604
出願日： 2012年11月27日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
要約：

本発明は、洗浄ステージ(11)に形成された洗浄液流路(12)と、洗浄液流路(12)に洗浄液を供給する洗浄液供給装置(15)と、洗浄液流路(12)に供給した洗浄液に吐出ノズル(32)を浸して洗浄する動作を制御する洗浄制御手段(26)とを備えている液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置において、洗浄ステージ(11)の上面に、洗浄液流路(12)から洗浄液が洗浄ステージ(11)の上面に溢れ出すことを防止するための撥液処理層(21)が形成されているものである。 当該構成により、洗浄液が洗浄液流路から洗浄ステージの上面へ溢れ出ず、また、洗浄液の表面張力により洗浄液面を洗浄ステージの上面より盛り上がるため、少ない洗浄液で吐出ノズルを洗浄できる。

請求項（抜粋）：

液滴吐出装置の吐出ノズルを洗浄液で洗浄する液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置において、 洗浄ステージに形成された洗浄液流路と、 前記洗浄液流路に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、 前記洗浄液流路に供給した洗浄液に前記吐出ノズルを浸して洗浄する動作を制御する洗浄制御手段とを備え、 前記洗浄ステージの上面に前記洗浄液流路から洗浄液が該上面に溢れ出すことを防止するための撥液処理が施されていることを特徴とする液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置。

IPC (2件)：

B05C 11/10 ,  B05C 5/00

FI (2件)：

B05C11/10 ,  B05C5/00 101

Fターム (15件)：

4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA17 ,  4F041BA34 ,  4F041BA59 ,  4F042AA06 ,  4F042BA08 ,  4F042BA12 ,  4F042CB02 ,  4F042CB07 ,  4F042CB24 ,  4F042CC04 ,  4F042CC07 ,  4F042DH09