光切断検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-017135
公開番号（公開出願番号）：特開2017-138111
出願日： 2016年02月01日
公開日（公表日）： 2017年08月10日
要約：

【課題】光源の配置の自由度の向上が図られた光切断検査装置を得る。【解決手段】光切断検査装置は、第一の光源から出射されたライトシートによって形成された第一の線状の光を反射する第一のミラーと、反射された第一の線状の光を撮像部に向けて反射する第二のミラーと、第二の光源から出射されたライトシートによって形成された第二の線状の光を反射する第三のミラーと、反射された第二の線状の光を撮像部に向けて反射する第四のミラーと、第三の光源から出射されたライトシートによって形成された第三の線状の光を撮像部に向けて反射する第五のミラーと、を備え、第二のミラーの第一の線状の光の反射方向に沿った視線で、第三の線状の光の第五のミラーへの入射方向が、第一の線状の光の第二のミラーへの入射方向および第二の線状の光の第四のミラーへの入射方向の少なくとも一方と異なる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

第一の面と、前記第一の面に間隔を空けて面した第二の面と、前記第一の面と前記第二の面との間の空間に面し前記第一の面および前記第二の面を接続した第三の面と、を有した検査対象物、の前記空間の外部に位置される撮像部と、前記第一の面に向けてライトシートを出射する第一の光源と、前記第二の面に向けてライトシートを出射する第二の光源と、前記第三の面に向けてライトシートを出射する第三の光源と、前記空間の内部に位置され、前記第一の光源から出射された前記ライトシートによって前記第一の面に形成された第一の線状の光を前記空間の外部に向けて反射する第一のミラーと、前記空間の外部に位置され、前記第一のミラーによって反射された前記第一の線状の光を前記撮像部に向けて反射する第二のミラーと、前記空間の内部に位置され、前記第二の光源から出射された前記ライトシートによって前記第二の面に形成された第二の線状の光を前記空間の外部に向けて反射する第三のミラーと、前記空間の外部に位置され、前記第三のミラーによって反射された前記第二の線状の光を前記撮像部に向けて反射する第四のミラーと、前記空間の外部に位置され、前記第三の光源から出射された前記ライトシートによって前記第三の面に形成された第三の線状の光を前記撮像部に向けて反射する第五のミラーと、を備え、前記第二のミラーの前記第一の線状の光の反射方向に沿った視線で、前記第三の線状の光の前記第五のミラーへの入射方向が、前記第一の線状の光の前記第二のミラーへの入射方向および前記第二の線状の光の前記第四のミラーへの入射方向の少なくとも一方と異なる、光切断検査装置。

IPC (5件)：

G01B 11/30 , G01N 21/954 , B60C 19/00 , G01M 17/02 , G01B 11/24

FI (5件)：

G01B11/30 A , G01N21/954 Z , B60C19/00 H , G01M17/02 B , G01B11/24 K

Fターム (29件)：

2F065AA24 , 2F065AA49 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065CC13 , 2F065DD02 , 2F065FF01 , 2F065FF02 , 2F065FF09 , 2F065GG04 , 2F065HH05 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL12 , 2F065MM15 , 2F065MM25 , 2F065QQ25 , 2F065QQ31 , 2F065RR08 , 2G051AA90 , 2G051AB20 , 2G051BA01 , 2G051BA10 , 2G051BB11 , 2G051BC04 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CC11

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