特許
J-GLOBAL ID:201703018516281078
ICハンドラ
発明者:
,
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
青木 篤
, 島田 哲郎
, 三橋 真二
, 廣瀬 繁樹
, 前島 一夫
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2013082483
公開番号(公開出願番号):WO2015-083238
出願日: 2013年12月03日
公開日(公表日): 2015年06月11日
要約:
本発明のICハンドラ4はテストヘッド2にICデバイスDを搬送する。テストヘッド2は、ICデバイスDが載置される載置面3aを有していて載置面3aに載置されたICデバイスDをテストヘッド2に取り付けるソケット3を備える。ICハンドラ4は、載置面3aに垂直な方向においてソケット3から離間して配置される非接触変位計71を備える。非接触変位計71は、ソケット3の載置面3aに向かってレーザビームを発射することによって非接触変位計71から載置面3aに載置されたICデバイスDまでの距離を測定する。
請求項(抜粋):
ICデバイスを試験するテストヘッドに前記ICデバイスを搬送するICハンドラであって、
前記テストヘッドは、前記ICデバイスが載置される載置面を有していて前記載置面に載置された前記ICデバイスを前記テストヘッドに取り付けるソケットを備えており、
前記ICハンドラは、前記載置面に垂直な方向において前記ソケットから離間して配置される非接触変位計を備えており、
前記非接触変位計は、前記載置面に向かってビームを発射することによって前記非接触変位計から前記載置面に載置された前記ICデバイスまでの距離を測定する、ICハンドラ。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (5件):
2G003AA07
, 2G003AG01
, 2G003AG11
, 2G003AH06
, 2G003AH07
前のページに戻る