特許
J-GLOBAL ID：201703018713513010

有機材料用の蒸発源

発明者：
ディエゲス-カンポ, ホセ マヌエル

ディエゲス-カンポ, ホセ マヌエル について

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バンゲルト, シュテファン

バンゲルト, シュテファン について

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ロップ, アンドレアス

ロップ, アンドレアス について

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シュースラー, ウーヴェ

シュースラー, ウーヴェ について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 園田・小林特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-557604
公開番号（公開出願番号）：特表2017-509794
出願日： 2014年03月21日
公開日（公表日）： 2017年04月06日
要約：
基板上に二又はそれを上回る有機材料を堆積させるための蒸発源アレイが記載される。蒸発源アレイは、二又はそれを上回る有機材料を蒸発させるように構成されている二又はそれを上回る蒸発るつぼと;二又はそれを上回る分配管の長さに沿って提供された排出口を有する二又はそれを上回る分配管であって、二又はそれを上回る分配管の第1の分配管が、二又はそれを上回る蒸発るつぼの第1の蒸発るつぼと流体連通している、二又はそれを上回る分配管と;第1の分配管を取り囲む二又はそれを上回る熱シールドと;二又はそれを上回る分配管の少なくとも1つの側面に提供された冷却シールド装置であって、少なくとも1つの側面は、排出口が提供される側面である、冷却シールド装置と;冷却シールド装置の能動冷却のために冷却シールド装置に又は冷却シールド装置の中に提供された冷却要素とを備える。【選択図】 図7B
請求項（抜粋）：
基板上に二又はそれを上回る有機材料を堆積させるための蒸発源アレイであって、 前記二又はそれを上回る有機材料を蒸発させるように構成されている二又はそれを上回る蒸発るつぼと、 二又はそれを上回る分配管の長さに沿って提供された排出口を有する二又はそれを上回る分配管であって、前記二又はそれを上回る分配管の第1の分配管が、前記二又はそれを上回る蒸発るつぼの第1の蒸発るつぼと流体連通している、二又はそれを上回る分配管と、 前記第1の分配管を取り囲む、二又はそれを上回る熱シールドと、 前記二又はそれを上回る分配管の少なくとも1つの側面に提供された冷却シールド装置であって、前記少なくとも1つの側面は、前記排出口が提供される側面である、冷却シールド装置と、 前記冷却シールド装置の能動冷却のために前記冷却シールド装置に又は前記冷却シールド装置の中に提供された冷却要素と を備える蒸発源アレイ。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10
FI (5件)：
C23C14/24 A ,  C23C14/24 C ,  C23C14/24 B ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10
Fターム (25件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107BB02 ,  3K107CC42 ,  3K107CC45 ,  3K107FF15 ,  3K107GG04 ,  3K107GG32 ,  3K107GG34 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029DA03 ,  4K029DB12 ,  4K029DB13 ,  4K029DB14 ,  4K029DB18 ,  4K029DB23 ,  4K029DB24 ,  4K029HA01 ,  4K029KA03 ,  4K029KA09
引用特許：
審査官引用 (5件)
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