特許
J-GLOBAL ID：201703018961117113
誘導結合プラズマMS/MS型質量分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
古谷 聡
, 溝部 孝彦
, 西山 清春
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-001616
公開番号（公開出願番号）：特開2013-143196
特許番号：特許第6087056号
出願日： 2012年01月06日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 イオン化された試料を含むプラズマを真空中に引き込む第1の真空チャンバと、
前記第1の真空チャンバに接続され、前記第1の真空チャンバから出射したイオンからイオンビームを引き出し案内する手段を含む第2の真空チャンバと、
前記第2の真空チャンバに接続され、第1のイオン光学分離手段を備えた第3の真空チャンバと、
前記第3の真空チャンバに接続され、反応ガスが導入されるセルを有する第4の真空チャンバと、
前記第4の真空チャンバに接続され、第2のイオン光学分離手段及び検出器を備えた第5の真空チャンバとを有し、
前記第2の真空チャンバと前記第3の真空チャンバが個別に排気されてなる、誘導結合プラズマMS/MS型質量分析装置。
IPC (3件)：
H01J 49/42 ( 200 6.01)
, H01J 49/10 ( 200 6.01)
, G01N 27/62 ( 200 6.01)
H01J 49/42
, H01J 49/10
, G01N 27/62 G
