特許

J-GLOBAL ID：201703019149031252

物理量センサー、電子機器および移動体

発明者： 古畑 誠
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-112681
公開番号（公開出願番号）：特開2017-219371
出願日： 2016年06月06日
公開日（公表日）： 2017年12月14日
要約：

【課題】高精度な物理量検出を可能としつつ、優れた耐衝撃性を発揮することができる物理量センサーを提供すること、また、かかる物理量センサーを備える電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】基板と、前記基板に対して固定された固定部と、前記固定部から第1方向に沿って延びている部分を有する第1電極指と、前記基板に対して変位可能な可動部と、前記第1方向に直交する第2方向に沿って前記第1電極指と並んで配置され、かつ、前記可動部から前記第1方向に沿って延びている部分を有する第2電極指と、を備え、前記第1電極指および前記第2電極指は、互いに対向する面を有し、前記第1電極指および前記第2電極指のうちの少なくとも一方の電極指の基端部の幅は、当該電極指の先端部の幅よりも大きいことを特徴とする物理量センサー。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板に対して固定された固定部と、 前記固定部から第1方向に沿って延びている部分を有する第1電極指と、 前記基板に対して変位可能な可動部と、 前記第1方向に直交する第2方向に沿って前記第1電極指と並んで配置され、かつ、前記可動部から前記第1方向に沿って延びている部分を有する第2電極指と、を備え、 前記第1電極指および前記第2電極指は、互いに対向する面を有し、 前記第1電極指および前記第2電極指のうちの少なくとも一方の電極指の基端部の幅は、当該電極指の先端部の幅よりも大きいことを特徴とする物理量センサー。

IPC (5件)：

G01C 19/574 ,  G01P 15/125 ,  G01P 15/08 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00

FI (5件)：

G01C19/5747 ,  G01P15/125 Z ,  G01P15/08 101A ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00

Fターム (36件)：

2F105AA01 ,  2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA06 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB12 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  3C081AA01 ,  3C081BA07 ,  3C081BA30 ,  3C081BA32 ,  3C081BA44 ,  3C081BA53 ,  3C081CA05 ,  3C081CA13 ,  3C081CA29 ,  3C081CA32 ,  3C081DA06 ,  3C081DA22 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112EA06 ,  4M112EA13 ,  4M112FA01 ,  4M112FA07 ,  4M112GA01