特許
J-GLOBAL ID：201703019194464240
荷電粒子線装置およびプログラム記憶媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-226923
公開番号（公開出願番号）：特開2017-027651
出願日： 2013年10月31日
公開日（公表日）： 2017年02月02日
要約：
【課題】座標を補正するために行うグローバルアライメントにてパターンマッチングでアライメントパターンを検出するために使用するテンプレート画像を作成する場合に、設計データがなければテンプレート画像を作成することができない。【解決手段】荷電粒子線装置は、試料に荷電粒子線を照射する荷電粒子光学系と、前記試料を保持する試料ステージと、前記荷電粒子光学系および前記試料ステージを制御する制御装置と、前記荷電粒子線の照射により前記試料から得られる二次的荷電粒子の信号から前記試料の画像を生成する演算装置と、前記試料の画像を記憶する記憶装置と、を備える。前記演算装置は、予め撮像された複数の画像を重ね合わせて作成された合成画像上で指定されたパターンをテンプレートパターンとして設定し、前記テンプレートパターンと一致するパターンの位置を検出する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
試料に荷電粒子線を照射する荷電粒子光学系と、
前記試料を保持する試料ステージと、
前記荷電粒子光学系および前記試料ステージを制御する制御装置と、
前記荷電粒子線の照射により前記試料から得られる二次的荷電粒子の信号から前記試料の画像を生成する演算装置と、
前記試料の画像を記憶する記憶装置と、
を備え、
前記演算装置は、予め撮像された複数の画像を重ね合わせて作成された合成画像上で指定されたパターンをテンプレートパターンとして設定し、前記テンプレートパターンと一致するパターンの位置を検出することを特徴とすることを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01J37/22 502H
, H01J37/22 502C
