静電チャック

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：辻居幸一 , 熊倉禎男 , 大塚文昭 , 西島孝喜 , 須田洋之 , 上杉浩 , 近藤直樹 , 鈴木信彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-533400
特許番号：特許第6109832号
出願日： 2012年09月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板を保持する静電チャックであって、底板と、前記底板によって支持され、基板支持表面を有するセラミック板と、前記セラミック板内に配置され、第1の極性を有する第1の複数の電極と、前記セラミック板内に配置され、前記第1の極性とは逆の第2の極性を有する第2の複数の電極とを備え、前記第1および第2の複数の電極の各々は、所望のチャッキング力および周波数を提供するために、各々の電極を独立して制御するようにRF電源及びDC電源に接続され、前記第1および第2の複数の電極が、前記セラミック板の4つの4半分内に配置され、前記セラミック板の各4半分が、1つの内部電極から径方向に外方へ配置された1つの外部電極を含む、静電チャック。

IPC (1件)：