特許

J-GLOBAL ID：201703019394580261

切削ブレードの外径サイズ検出方法

発明者： 湊 浩吉
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 特許業務法人東京アルパ特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-096343
公開番号（公開出願番号）：特開2016-213342
出願日： 2015年05月11日
公開日（公表日）： 2016年12月15日
要約：

【課題】切削痕と共に疵等を撮像しても、正確な切削ブレード外径を算出する。【解決手段】切削ブレード63を第1の下降位置Z1まで切込ませ第1の切削痕M1を形成する第1の切削痕形成工程と、第1の切削痕の長さM1wを測定し切削ブレード63の第1の外径2r1を算出する第1の切削ブレード外径算出工程と、第1の切削ブレード外径算出工程後少なくとも1回以上実施され該切削ブレード63を第1の下降位置Z1より深い下降位置まで切込ませ第1の切削痕M1より長い切削痕を形成する後期切削痕形成工程と、後期切削痕形成工程で形成した切削痕の長さを測定し切削ブレード63の外径を算出する後期切削ブレード外径算出工程と、切削ブレード63の第1の外径2r1と後期切削ブレード外径算出工程で算出した切削ブレード63の外径とを比較し最小の切削ブレードの外径を正確なものとする切削ブレード外径選択工程と、を実施する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持する板状ワークを切削する切削ブレードを回転可能に装着する切削手段と、該保持テーブルと該切削手段とを相対的に板状ワークの上面に対して垂直な方向に接近及び離間させる切込み送り手段と、該切込み送り手段が該切削ブレードを切削痕形成用被加工物に切込ませて形成した切削痕を撮像する撮像手段と、該撮像手段が撮像した該切削痕の長さから該切削ブレードの外径を算出する算出手段とを備える切削装置を用いた切削ブレードの外径サイズ検出方法であって、 該切込み送り手段が該切削ブレードを第1の下降位置まで切込ませ第1の切削痕を形成する第1の切削痕形成工程と、 該第1の切削痕形成工程で形成した該第1の切削痕を該撮像手段が撮像して該第1の切削痕の長さを測定し、該算出手段が該切削ブレードの第1の外径を算出する第1の切削ブレード外径算出工程と、 該第1の切削ブレード外径算出工程を実施した後、少なくとも1回以上実施され、該切込み送り手段が該切削ブレードを該第1の下降位置より深い下降位置まで切込ませ該第1の切削痕より長い切削痕を形成する後期切削痕形成工程と、 該後期切削痕形成工程で形成した切削痕を該撮像手段が撮像して該第1の切削痕より長い切削痕の長さを測定し、該算出手段が該切削ブレードの外径を算出する後期切削ブレード外径算出工程と、 該第1の切削ブレード外径算出工程で算出した該切削ブレードの第1の外径と、該後期切削ブレード外径算出工程で算出した該切削ブレードの外径と、を比較して最も小さい該切削ブレードの外径を正確な切削ブレードの外径として選択する切削ブレード外径選択工程と、を含む切削ブレードの外径サイズ検出方法。

IPC (3件)：

H01L 21/301 ,  B24B 49/12 ,  B24B 27/06

FI (3件)：

H01L21/78 F ,  B24B49/12 ,  B24B27/06 M

Fターム (28件)：

3C034AA07 ,  3C034BB27 ,  3C034BB32 ,  3C034BB73 ,  3C034BB91 ,  3C034CA08 ,  3C034CA12 ,  3C034CA22 ,  3C034CB01 ,  3C034DD10 ,  3C158AA03 ,  3C158AC02 ,  3C158BA07 ,  3C158BB08 ,  3C158BB09 ,  3C158BC02 ,  3C158CA01 ,  3C158CB01 ,  3C158DA17 ,  5F063AA48 ,  5F063DD20 ,  5F063DE01 ,  5F063DE13 ,  5F063DE16 ,  5F063DE33 ,  5F063EE21 ,  5F063FF04 ,  5F063FF08