特許

J-GLOBAL ID：201703019494850797

検査装置

発明者： 山下 裕之
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 特許業務法人開知国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013084131
公開番号（公開出願番号）：WO2014-112290
出願日： 2013年12月19日
公開日（公表日）： 2014年07月24日
要約：

セル部の周辺に形成されたペリ部の相違に関係なく、正確に欠陥を検出可能な検査装置が実現される。ウエハ上に配列されたダイ201〜2N1は互いに同一の仕様で製作されており、互いに同一のパターンが繰り返して製作された複数のセル部202〜20nが形成されている。セル部とセル部との間にはペリ部が形成されている。ペリ部はパターンA、B、Cのように、複数種類となっているため、互いに同一形状のセル部であっても、周辺のペリ部の相違により影響を受けて断面イメージが異なるものとなる場合がある。そこで、ペリ部近傍のセル部領域で虚報が発生することを防止するため、周辺ペリ部が同一のセル部どうしを位置合わせして差分を検出し、欠陥の有無を判断することにより虚報の発生を防止する。

請求項（抜粋）：

検査対象物に光を照明する照明部と、 上記検査対象物からの光を検出する検出光学部と、 上記検出光学部からの検出信号に基づいて、上記検査対象物の欠陥を検出する演算処理部と、 を備え、 上記検査対象物は、互いに同一の回路パターンを有するように形成された複数のセル部及びこれら複数のセル部の各々の両辺に形成され、回路パターンが形成された複数のペリ部からなる集積回路を有するダイが複数形成され、上記複数のペリ部は、複数種類の回路パターンを有し、 上記演算処理部は、一つの上記ダイに形成された複数のセル部のうち、その両辺の一方に形成されたペリ部の回路パターンと上記両辺の他方に形成されたペリ部の回路パターンとの配列順序が同一のセル部を抽出し、上記ペリ部の回路パターンの配列順序が同一のセル部どうしが互いに重なるように位置合わせを行い、差分画像を算出し、算出した差分が閾値以下か否かを判断することにより、欠陥を検出することを特徴とする検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/956

FI (1件)：

G01N21/956 A

Fターム (7件)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BB09 ,  2G051CA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA08 ,  2G051EA23