特許
J-GLOBAL ID：201703019605961232
温度測定装置、温度測定方法および熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-059963
公開番号（公開出願番号）：特開2014-185898
特許番号：特許第6153749号
出願日： 2013年03月22日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板の温度を測定する温度測定装置であって、
前記基板の裏面の放射率は既知であり、前記基板の一部領域の裏面から放射される赤外線を受光して当該一部領域の温度を測定する放射温度計と、
前記一部領域を含む前記基板の測定対象領域の表面から放射される赤外線を受光して当該赤外線の強度を測定する赤外線カメラと、
前記放射温度計によって測定された前記一部領域の温度に基づいて、前記赤外線カメラが測定した前記一部領域の赤外線強度から前記一部領域の表面の放射率を算定する放射率算定部と、
前記放射率算定部によって算定された表面の放射率に基づいて、前記赤外線カメラが測定した前記測定対象領域の赤外線強度から前記測定対象領域の温度を算定する温度算定部と、
を備え、
前記基板の表面にはパターンが形成され、
前記温度算定部は、前記測定対象領域のうち前記一部領域の表面に形成されているパターンと同一のパターンが形成されている領域の温度を算定することを特徴とする温度測定装置。
IPC (3件)：
G01J 5/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/26 ( 200 6.01)
, G01J 5/48 ( 200 6.01)
G01J 5/00 B
, G01J 5/00 101 C
, H01L 21/26 T
, G01J 5/48 E
