特許
J-GLOBAL ID：201703019687598521
露光用照明装置、露光装置及び露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人栄光特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-033348
公開番号（公開出願番号）：特開2017-151259
出願日： 2016年02月24日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
要約：
【課題】ミラー曲げに起因する露光面での照度分布のばらつきを抑制することができる露光用照明装置、露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】ランプユニット60と、p行、q列のマトリックス状に配列された複数のレンズ素子65aを有するフライアイレンズ65と、反射面の形状を変更するミラー変形ユニット70を備える平面ミラー68と、フライアイレンズ65のマトリックスに沿って互いに直交配置され、光路EL及び線材92X,92Yの長手方向に対して直交する方向に移動可能に配設された複数本の線材92X,92Yから構成される第1及び第2のワイヤ群91X,91Yを有し、ランプユニット60とフライアイレンズ65との間に配置されるワイヤフィルタ90と、を備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
光源と、
p行、q列(p,qは、整数)のマトリックス状に配列された複数のレンズ素子を有し、前記光源からの光を均一にして出射するフライアイレンズと、
反射面の形状を変更可能なミラー曲げ機構を備え、前記フライアイレンズから出射された前記光を反射する反射鏡と、
を備え、
露光パターンが形成されたマスクを介して前記光源からの露光光をワーク上に照射して前記露光パターンを前記ワークに露光転写するための露光用照明装置であって、
前記光源と前記フライアイレンズとの間に配置されて露光面での照度分布を変更可能なワイヤフィルタを更に備え、
前記ワイヤフィルタは、平行に配置された複数本の線材からそれぞれ構成される第1及び第2のワイヤ群を備え、
前記第1及び第2のワイヤ群の前記線材は、互いに直交して、前記フライアイレンズのマトリックスに沿ってそれぞれ配設されてなり、
前記各ワイヤ群の前記線材は、それぞれ前記光の光軸及び前記線材の長手方向に対して直交する方向に移動可能であることを特徴とする露光用照明装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
2H052BA02
, 2H052BA03
, 2H052BA09
, 2H052BA12
, 2H197AA04
, 2H197AA05
, 2H197BA02
, 2H197BA03
, 2H197BA05
, 2H197BA10
, 2H197BA11
, 2H197CA05
, 2H197CB26
, 2H197CD02
, 2H197CD03
, 2H197CD12
, 2H197CD13
, 2H197DB06
