特許

J-GLOBAL ID：201703019808199590

基板搬送方法及び基板処理システム

発明者： 兒玉 俊昭
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (2件)： 別役 重尚 ,  村松 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-016863
公開番号（公開出願番号）：特開2017-139249
出願日： 2016年02月01日
公開日（公表日）： 2017年08月10日
要約：

【課題】基板の中心の位置を正確に算出することができる基板搬送方法及び基板処理システムを提供する。【解決手段】ウエハが搬送される際に回転する基板処理システムにおいて、直進方向座標系において特定されたウエハのエッジ上の各点の位置を、直進方向座標系に対するフォーク28座標系の回転角θfだけ回転移動させる。これにより、直進方向座標系において特定されたウエハのエッジ上の各点の位置からフォーク座標系におけるウエハのエッジ上の各点の位置を特定することができ、もって、フォーク座標系においてウエハの中心Cwの位置を正確に算出することができる。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

基板を把持する把持部を有する搬送系と、前記基板の搬送軌道上に配置されたセンサとを備え、前記搬送系は前記基板を搬送する際に前記基板を回転させる基板処理システムにおける基板搬送方法であって、 前記基板の縁部が前記センサの対面を横切るときの前記把持部の位置、並びに、前記センサの位置に基づいて前記基板の縁部の位置を特定する第1のステップと、 前記特定された前記基板の縁部の位置から前記基板の回転の影響を除去する第2のステップとを有することを特徴とする基板搬送方法。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  B25J 13/08

FI (3件)：

H01L21/68 A ,  B65G49/07 C ,  B25J13/08 Z

Fターム (38件)：

3C707AS24 ,  3C707BS15 ,  3C707ES17 ,  3C707KS03 ,  3C707KV11 ,  3C707KX19 ,  3C707LT12 ,  3C707NS13 ,  5F131AA02 ,  5F131BA01 ,  5F131CA02 ,  5F131CA09 ,  5F131CA70 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131DB57 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131DB82 ,  5F131DB92 ,  5F131DD29 ,  5F131DD33 ,  5F131DD43 ,  5F131DD76 ,  5F131EA04 ,  5F131FA26 ,  5F131FA32 ,  5F131GA13 ,  5F131KA15 ,  5F131KA44 ,  5F131KA72 ,  5F131KB05 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32 ,  5F131KB55 ,  5F131KB58