特許
J-GLOBAL ID:201703019874687740

キーパターン検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松本 昂
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-075940
公開番号(公開出願番号):特開2014-203836
特許番号:特許第6143336号
出願日: 2013年04月01日
公開日(公表日): 2014年10月27日
請求項(抜粋):
【請求項1】ワークピース上のキーパターンを含む撮像画像を取得する撮像画像形成ステップと、 該撮像画像をトレースし該キーパターンの外周縁を描画してキーパターン図を形成する描画ステップと、 該描画ステップで形成した該キーパターン図をターゲットパターンとして設定するターゲットパターン設定ステップと、を備えたターゲットパターン設定方法で設定されたターゲットパターンをもとにワークピース上のキーパターンを検出するキーパターン検出方法であって、 ワークピースを撮像し前記ターゲットパターンとのパターンマッチングで該ワークピース上からキーパターンを検出する検出ステップを備え、 該検出ステップでは、該ワークピースを撮像した撮像画像に複数の画像処理をそれぞれ施して複数のワークピース処理画像を形成するとともに、各該ワークピース処理画像と該ターゲットパターンとの相関性をそれぞれ算出し、最も高い相関性を有した領域をキーパターンとして検出する、 ことを特徴とするキーパターンの検出方法。
IPC (1件):
H01L 21/301 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 21/78 C
引用特許:
審査官引用 (5件)
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