特許
J-GLOBAL ID：201703020096789270
情報算出方法、露光装置、露光方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-548323
特許番号：特許第6127979号
出願日： 2012年12月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 露光光を射出する光学部材に対向する物体を移動させたときの前記物体上の液体に関する液体情報を算出することと、
前記物体上の、前記液体情報が所定の条件を満たす領域を示す領域情報を算出することと、を含む情報算出方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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