特許
J-GLOBAL ID:201703020266387422

圧力センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人鳳国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-161339
公開番号(公開出願番号):特開2017-040516
出願日: 2015年08月18日
公開日(公表日): 2017年02月23日
要約:
【課題】受熱のための部材を用いて測定誤差を小さくできる技術を開示する。【解決手段】圧力センサは、筐体と、筐体の先端側に接合部を介して接合され圧力に応じて撓むダイアフラムと、圧力によって変化する電気的特性を有するセンサ部と、ダイアフラムとセンサ部とを接続する接続部と、ダイアフラムの先端側に配置されダイアフラムに直接的または間接的に接続され熱を受ける受熱部と、を備えている。軸線に垂直な断面上で、受熱部からダイアフラムまでの部分の断面を包含し輪郭の全長が最小の仮想的な最小包含領域の面積の最小値を、接続面積Snとし、ダイアフラムと受熱部とを軸線に垂直な投影面上に投影する場合の投影面上において、接合部に囲まれた領域の面積を、ダイアフラム有効面積Sdとし、受熱部の面積を、受熱面積Sn2とする。(Sn2/Sd)≧0.8、かつ、(Sn/Sd)≦0.25、が満たされる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
筒状の筐体と、前記筐体の先端側に接合部を介して接合され前記筐体の軸線に交差する方向に拡がり受圧した圧力に応じて撓むダイアフラムと、前記筐体内に配置され前記圧力によって変化する電気的特性を有するセンサ部と、前記ダイアフラムと前記センサ部とを接続する接続部と、前記ダイアフラムの先端側に配置され前記ダイアフラムに直接的または間接的に接続された、熱を受ける受熱部と、を備える圧力センサであって、 前記軸線に垂直な断面上で、前記受熱部から前記ダイアフラムまでの部分の断面を包含し、かつ、輪郭の全長が最小となる仮想的な領域である最小包含領域の面積の最小値を、接続面積Snとし、 前記ダイアフラムと前記受熱部とを、前記軸線に垂直な投影面上に投影する場合に、前記投影面上において、 前記接合部に囲まれた領域の面積を、ダイアフラム有効面積Sdとし、 前記受熱部の面積を、受熱面積Sn2とする場合に、 (Sn2/Sd)≧0.8、かつ、(Sn/Sd)≦0.25、を満たす、 圧力センサ。
IPC (2件):
G01L 23/22 ,  G01L 23/10
FI (2件):
G01L23/22 ,  G01L23/10
Fターム (8件):
2F055AA23 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055EE23 ,  2F055FF11 ,  2F055GG11 ,  2F055HH11
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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