特許

J-GLOBAL ID：201703020429984652

ガラス板の製造方法

発明者： 宮谷 克明 ,  上村 直己
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (2件)： 濱田 百合子 ,  本多 弘徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-240417
公開番号（公開出願番号）：特開2017-013138
出願日： 2013年11月20日
公開日（公表日）： 2017年01月19日
要約：

【課題】ガラス板の薄板化に対応したガラス板の製造方法を提供する。【解決手段】両面研磨装置のサンギヤとリングギヤとの間で遊星歯車運動を行うガラス板用キャリア10に0.7mm以下の板厚を有するガラス板30を保持させ、ガラス板用キャリア10に保持されたガラス板30を上定盤と下定盤に取り付けた軟質研磨パッド16,18の間に挟み、砥粒を含有する研磨液を供給しながら研磨することでガラス板30を製造する、ガラス板30の製造方法であって、ガラス板用キャリア10の板厚をLc、ガラス板30の板厚をLg、研磨時の研磨荷重を付加した状態における軟質研磨パッド16,18のそれぞれの変形量をDp、とすると、Lc<Lg-2・Dpを満たす。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

両面研磨装置のサンギヤとリングギヤとの間で遊星歯車運動を行うガラス板用キャリアに0.7mm以下の板厚を有するガラス板を保持させ、前記ガラス板用キャリアに保持されたガラス板を上定盤と下定盤に取り付けた軟質研磨パッドの間に挟み、砥粒を含有する研磨液を供給しながら研磨することでガラス板を製造する、ガラス板の製造方法であって、 前記ガラス板用キャリアの板厚をLc、前記ガラス板の板厚をLg、研磨時の研磨荷重を付加した状態における前記軟質研磨パッドのそれぞれの変形量をDp、とすると、Lc<Lg-2・Dpを満たすことを特徴とするガラス板の製造方法。

IPC (5件)：

B24B 37/005 ,  B24B 37/28 ,  B24B 37/24 ,  C03C 19/00 ,  G06F 3/041

FI (5件)：

B24B37/00 B ,  B24B37/04 U ,  B24B37/00 L ,  C03C19/00 Z ,  G06F3/041 350D

Fターム (14件)：

3C058AA07 ,  3C058CA01 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA18 ,  4G059AA08 ,  4G059AB01 ,  4G059AB03 ,  4G059AB09 ,  4G059AB11 ,  4G059AC03 ,  5B068AA33