特許

J-GLOBAL ID：201703020536687377

物理量検出器

発明者： 白澤 勝吾
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (2件)： 荒船 博司 ,  荒船 良男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-160050
公開番号（公開出願番号）：特開2015-031551
特許番号：特許第6147604号
出願日： 2013年08月01日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 一端が回動可能に支持された振り子の揺動方向の両面に形成された第1可動電極と、前記振り子を挟むように前記第1可動電極と対向して配置された一対の第1固定電極と、により形成される一対のコンデンサからなる第1変位検出部と、 前記第1変位検出部よりも下方に設けられ、前記振り子の揺動方向の両面に形成された第2可動電極と、前記振り子を挟むように前記第2可動電極と対向して配置された一対の第2固定電極と、により形成される一対のコンデンサからなる第2変位検出部と、 前記第1変位検出部の各コンデンサの静電容量値の差分を検出する第1検波回路と、 前記第2変位検出部の各コンデンサの静電容量値の差分を検出する第2検波回路と、 前記第1検波回路及び前記第2検波回路により検出された静電容量値の差分同士の差を算出する演算部と、 を備えることを特徴とする物理量検出器。

IPC (3件)：

G01P 15/125 ( 200 6.01) ,  G01P 15/13 ( 200 6.01) ,  G01P 21/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01P 15/125 Z ,  G01P 15/13 B ,  G01P 21/00