特許

J-GLOBAL ID：201703020544070222

センサ装置

発明者： 梅津 英治 ,  大川 尚信
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (3件)： 大窪 克之 ,  野▲崎▼ 照夫 ,  松下 昌弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-078142
公開番号（公開出願番号）：特開2017-187447
出願日： 2016年04月08日
公開日（公表日）： 2017年10月12日
要約：

【課題】可動薄膜に不要な応力を加えることなく支持するとともに、耐衝撃性に優れたセンサ装置を提供すること。【解決手段】本発明は、可動薄膜と、可動薄膜の変位に応じた信号を出力する検出素子と、を有するセンサ部と、センサ部の外側を囲むように配置された枠部と、枠部とセンサ部との間に設けられたバネ部と、検出素子から出力される信号を処理する回路を含む回路基板と、を備え、枠部は回路基板に積層され、センサ部はバネ部によって枠部に片持ち状に支持され、センサ部と回路基板との間に空隙が構成されたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

可動薄膜と、前記可動薄膜の変位に応じた信号を出力する検出素子と、を有するセンサ部と、 前記センサ部の外側を囲むように配置された枠部と、 前記枠部と前記センサ部との間に設けられたバネ部と、 前記検出素子から出力される信号を処理する回路を含む回路基板と、 を備え、 前記枠部は前記回路基板の上に設けられ、前記センサ部は前記バネ部によって前記枠部に片持ち状に支持され、前記センサ部と前記回路基板との間に空隙が構成されたことを特徴とするセンサ装置。

IPC (2件)：

G01L 9/00 ,  H01L 29/84

FI (5件)：

G01L9/00 303B ,  G01L9/00 305A ,  H01L29/84 Z ,  H01L29/84 B ,  H01L29/84 A

Fターム (26件)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE13 ,  2F055EE25 ,  2F055FF21 ,  2F055FF45 ,  2F055GG15 ,  4M112AA01 ,  4M112AA02 ,  4M112AA06 ,  4M112BA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA09 ,  4M112CA11 ,  4M112CA12 ,  4M112CA15 ,  4M112DA03 ,  4M112EA03 ,  4M112EA14 ,  4M112FA09 ,  4M112GA01