特許
J-GLOBAL ID：201703020604180243

ワークの切断方法

発明者：
衛藤 義博

衛藤 義博 について

, 
又川 敏

又川 敏 について


出願人/特許権者：
株式会社SUMCO

株式会社SUMCO について


代理人 (3件)： 鷲頭 光宏 ,  緒方 和文 ,  黒瀬 泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-108180
公開番号（公開出願番号）：特開2017-213627
出願日： 2016年05月31日
公開日（公表日）： 2017年12月07日
要約：
【課題】ワイヤの断線リスクの回避とワーク両端のウェーハの品質改善を図る。【解決手段】複数の平行なメインローラ10A,10Bの間にワイヤ11を多重に巻き掛けてワイヤ列11Rを形成し、走行状態のワイヤ列11RにワークWを押し当てることで当該ワークWをウェーハ状に加工する、ワイヤソーを用いたワークの切断方法であって、ワイヤ列11Rは、ワークWの両端部近傍よりも内側のワーク切断領域においてワイヤ11が一定ピッチで架線され、ワークWの切断加工時にワークWに接触する実架線領域Xと、ワークWの両端部近傍においてワイヤ11が一定ピッチで架線されないワイヤ飛ばし領域Sと、ワイヤ飛ばし領域Sの外側においてワイヤ11が一定ピッチで2本以上架線された後に前記複数のメインローラへの巻き掛けループの外側に引き出され、ワークWの切断加工時に任意のワークに接触しない第1ダミー架線領域Dとを有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
複数の平行なメインローラの間にワイヤを多重に巻き掛けてワイヤ列を形成し、走行状態の前記ワイヤ列にワークを押し当てることで当該ワークをウェーハ状に加工する、ワイヤソーを用いたワークの切断方法であって、 前記ワイヤ列は、 前記ワークの両端部近傍よりも内側のワーク切断領域において前記ワイヤが一定ピッチで架線され、前記ワークの切断加工時に前記ワークに接触する実架線領域と、 前記ワークの前記両端部近傍において前記ワイヤが前記一定ピッチで架線されないワイヤ飛ばし領域と、 前記ワイヤ飛ばし領域の外側において前記ワイヤが前記一定ピッチで2本以上架線された後に前記複数のメインローラへの巻き掛けループの外側に引き出され、前記ワークの切断加工時に任意のワークに接触しない第1ダミー架線領域とを有することを特徴とするワークの切断方法。
IPC (3件)：
B24B 27/06 ,  H01L 21/304 ,  B28D 5/04
FI (3件)：
B24B27/06 Q ,  H01L21/304 611W ,  B28D5/04 C
Fターム (25件)：
3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB01 ,  3C069BB03 ,  3C069CA02 ,  3C069CA04 ,  3C069DA00 ,  3C069EA03 ,  3C069EA04 ,  3C158AA05 ,  3C158CA01 ,  3C158CA02 ,  3C158CB01 ,  3C158CB06 ,  3C158DA03 ,  5F057AA02 ,  5F057AA32 ,  5F057BA01 ,  5F057BB03 ,  5F057BB09 ,  5F057BB12 ,  5F057CA02 ,  5F057DA15 ,  5F057EB24 ,  5F057FA15
引用特許：
審査官引用 (2件)

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