特許
J-GLOBAL ID：201703020611751752

表面処理金属酸化物ゾル

発明者：
二神 渉

二神 渉 について

, 
村口 良

村口 良 について


出願人/特許権者：
日揮触媒化成株式会社

日揮触媒化成株式会社 について


代理人 (1件)： ▲高▼津 一也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-071572
公開番号（公開出願番号）：特開2017-178736
出願日： 2016年03月31日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：
【課題】高い屈折率と光透過性、低いヘーズおよびビード、高感度、高残膜率、高解像度、高い耐擦傷性および高い耐候性を兼ね備えたレジスト膜が実現できる表面処理金属酸化物ゾルおよびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の表面処理金属酸化物ゾルは、金属酸化物粒子の表面に所定量の(メタ)アクリル基を含む有機珪素化合物を設けた表面処理金属酸化物粒子と、分散媒とを含む。金属酸化物粒子は、チタニアをTiO2として50質量%以上含む。表面処理金属酸化物粒子には、(メタ)アクリル基を含む有機珪素化合物が、金属酸化物粒子100質量部に対し、Rn-SiO(4-n)/2として0.1〜60質量部設けられている。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
金属酸化物粒子の表面を式(1)で表される(メタ)アクリル基を含む有機珪素化合物で処理した表面処理金属酸化物粒子と、分散媒とを含む表面処理金属酸化物ゾルであって、 前記金属酸化物粒子がチタニアをTiO2として50質量%以上含み、 前記有機珪素化合物が、前記金属酸化物粒子100質量部に対し、R1n-SiO(4-n)/2(ただし、R1はメタクリル基およびアクリル基から選ばれる少なくとも一方で、互いに同一であっても異なっていても良い。nは1〜3の整数。)として、0.1〜60質量部設けられることを特徴とする表面処理金属酸化物ゾル。 R1n-SiX1(4-n) (1) (ただし、R1はメタクリル基およびアクリル基から選ばれる少なくとも一方で、互いに同一であっても異なっていても良い。nは1〜3の整数。X1はアルコキシ基。)
IPC (7件)：
C01G 23/053 ,  C09C 1/00 ,  C01G 49/00 ,  C01G 23/00 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/075 ,  G03F 7/004
FI (7件)：
C01G23/053 ,  C09C1/00 ,  C01G49/00 A ,  C01G23/00 C ,  G03F7/027 501 ,  G03F7/075 501 ,  G03F7/004 501
Fターム (34件)：
2H225AC23 ,  2H225AC34 ,  2H225AC35 ,  2H225AC63 ,  2H225AD05 ,  2H225AN38P ,  2H225AP08P ,  2H225AP10P ,  2H225AP11P ,  2H225AP13P ,  2H225CA12 ,  2H225CB09 ,  2H225CC01 ,  2H225CC13 ,  4G002AA06 ,  4G002AB05 ,  4G002AD04 ,  4G002AE05 ,  4G047CA02 ,  4G047CA05 ,  4G047CA08 ,  4G047CB05 ,  4G047CB09 ,  4G047CC03 ,  4G047CD04 ,  4J037AA08 ,  4J037AA14 ,  4J037AA17 ,  4J037AA21 ,  4J037AA22 ,  4J037CA23 ,  4J037CB23 ,  4J037EE02 ,  4J037EE43
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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