ダイ供給装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加古宗男
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012083157
公開番号（公開出願番号）：WO2014-097463
出願日： 2012年12月20日
公開日（公表日）： 2014年06月26日
要約：

ダイシングシート34上のダイ31の配列中に所定間隔で画像認識可能な複数の基準ダイ45を配置し、今回吸着動作を行ったダイ31(a) の位置から推定した次吸着ダイ31(b) の位置までの間隔が所定値以上である場合は、次吸着ダイ31(b) の位置の認識に加え、複数の基準ダイ45の中から次吸着ダイ31(b) に近い基準ダイ45を選択して基準ダイ45をカメラ42で撮像して基準ダイ45の位置を認識し、基準ダイ45の認識位置と次吸着ダイ31(b) の認識位置との位置関係に基づいて次吸着ダイ31(b) の認識位置が正しい次吸着ダイ31(c) の位置であるか否かを判定し、次吸着ダイ31(b) の認識位置が正しい次吸着ダイ31(c) の位置ではないと判定した場合は、基準ダイ45の認識位置を基準にして次に吸着するダイ31(c) の位置を推定し直してダイ31(c) をカメラ42で撮像してダイ31(c) の位置を認識して突き上げ動作及び吸着動作を実行する。

請求項（抜粋）：

複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張設したウエハ張設体と、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げピンを上下動させる突き上げ機構とを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を前記突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置において、前記ダイシングシート上のダイの吸着順序を決定する吸着順序決定手段と、前記ダイシングシート上のダイを撮像するカメラと、前記カメラで撮像したダイの画像を処理して該ダイの位置を認識する画像処理手段と、前記画像処理手段で認識したダイの認識位置を基準にして次に吸着するダイ(以下「次吸着ダイ」という)の位置を推定する次吸着ダイ位置推定手段と、吸着動作毎に前記次吸着ダイ位置推定手段で推定した次吸着ダイの位置を目標撮像ダイ位置として該次吸着ダイを前記カメラで撮像して該次吸着ダイの位置を前記画像処理手段により認識してダイの突き上げ動作及び吸着動作を実行する制御手段と、前記ダイシングシート上のダイの配列中に所定の配置で設けられた画像認識可能な複数の基準ダイとを備え、前記制御手段は、今回吸着動作を行ったダイの位置から前記次吸着ダイ位置推定手段で推定した次吸着ダイの位置までの間隔が所定値以上である場合に、前記次吸着ダイの位置の認識に加え、前記複数の基準ダイの中から該次吸着ダイに近い前記基準ダイを選択して該基準ダイを前記カメラで撮像して該基準ダイの位置を認識し、該基準ダイの認識位置と該次吸着ダイの認識位置との位置関係に基づいて該次吸着ダイの認識位置が正しい次吸着ダイの位置であるか否かを判定し、該次吸着ダイの認識位置が正しい次吸着ダイの位置であると判定した場合は、該次吸着ダイの認識位置に基づいて突き上げ動作及び吸着動作を実行し、該次吸着ダイの認識位置が正しい次吸着ダイの位置ではないと判定した場合は、前記基準ダイの認識位置を基準にして次に吸着するダイの位置を推定し直して該ダイを前記カメラで撮像して該ダイの位置を認識して突き上げ動作及び吸着動作を実行することを特徴とするダイ供給装置。

IPC (3件)：

H05K 13/08 , H01L 21/673 , H05K 13/02

FI (3件)：

H05K13/08 A , H01L21/68 U , H05K13/02 E

Fターム (38件)：

5E353BB03 , 5E353DD11 , 5E353EE28 , 5E353EE33 , 5E353HH52 , 5E353HH56 , 5E353HH68 , 5E353JJ01 , 5E353JJ21 , 5E353JJ41 , 5E353KK03 , 5E353KK11 , 5E353QQ01 , 5E353QQ11 , 5F131AA02 , 5F131BA53 , 5F131CA32 , 5F131CA53 , 5F131DA03 , 5F131DA05 , 5F131DA13 , 5F131DA32 , 5F131DA42 , 5F131DA66 , 5F131DB22 , 5F131DD43 , 5F131DD74 , 5F131EC33 , 5F131EC44 , 5F131EC74 , 5F131EC75 , 5F131FA03 , 5F131FA26 , 5F131GA05 , 5F131GA23 , 5F131KA14 , 5F131KB33 , 5F131KB58

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