特許
J-GLOBAL ID:201703020746285182

分割品の良否判定方法および分割品のトレーサビリティシステム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 清水 義仁 ,  清水 久義 ,  高田 健市
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-023608
公開番号(公開出願番号):特開2017-142660
出願日: 2016年02月10日
公開日(公表日): 2017年08月17日
要約:
【課題】分割品の良否を効率良く判断できる分割品の良否判定方法を提供する。【解決手段】本発明は、複数の工程において順次処理されたワークを分割して複数の分割品を製造して、各分割品に対し検査を行って良否を判定する分割品の良否判定方法を対象とする。分割前のワークのうち、不良と判定された分割品に対応する不良対応の分割品単位部位を算出し、その不良対応の分割品単位部位に関するデータと、各工程において処理が実施された際の処理条件をワークの各位置毎に求めた処理条件データとを照合して、不良対応の分割品単位部位に対する各工程毎の処理条件を抽出し、その抽出データを基に不良の原因を特定する。分割前後位置データ、処理条件データに基づいて、分割前のワークの分割品単位部位の中から、不良原因の処理条件と同様に処理された分割品単位部位を選出し、その選出された分割品単位部位に対応する分割品を暫定不良の分割品と判断する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
複数の工程において順次処理されたワークを分割して複数の分割品を製造するとともに、各分割品に対し検査を行って良否を判定するようにした分割品の良否判定方法において、 各分割品と、分割前のワークのうち各分割品を構成する各部位である各分割品単位部位とを関連付けた分割前後位置データを取得し、 各工程において処理が実施された際の処理条件をワークの各位置毎に求めた処理条件データを取得し、 前記分割前後位置データに基づいて、分割前のワークのうち、分割品に対する検査において不良と判定された分割品に対応する不良対応の分割品単位部位を算出し、 その算出された不良対応の分割品単位部位に関するデータと、前記処理条件データとを照合して、不良対応の分割品単位部位に対する各工程毎の処理条件を抽出し、 その抽出された処理条件の中から不良の原因とされる不良原因の処理条件を特定する一方、 前記分割前後位置データおよび前記処理条件データに基づいて、分割前のワークにおいて前記不良対応の分割品単位部位以外の分割品単位部位の中から、前記不良原因の処理条件と同様な処理が実施された分割品単位部位を選出し、その選出された分割品単位部位に対応する分割品を暫定不良の分割品であると判断するようにしたことを特徴とする分割品の良否判定方法。
IPC (4件):
G05B 19/418 ,  G03G 21/00 ,  G03G 5/00 ,  G03G 5/10
FI (4件):
G05B19/418 Z ,  G03G21/00 ,  G03G5/00 101 ,  G03G5/10 B
Fターム (16件):
2H068AA54 ,  2H068EA05 ,  2H068EA07 ,  2H068EA41 ,  2H134GA01 ,  2H134GA05 ,  2H134GA20 ,  2H134KH10 ,  2H134QA01 ,  2H134QA02 ,  3C100AA57 ,  3C100AA58 ,  3C100BB11 ,  3C100BB21 ,  3C100BB27 ,  3C100EE08
引用特許:
審査官引用 (1件)

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