特許

J-GLOBAL ID：201703020784449970

電子部品搬送装置および電子部品検査装置

発明者： 清水 博之 ,  前田 直久
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 渡辺 和昭 ,  西田 圭介 ,  仲井 智至
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-014065
公開番号（公開出願番号）：特開2017-133946
出願日： 2016年01月28日
公開日（公表日）： 2017年08月03日
要約：

【課題】適切な吸着確認高さを容易かつ迅速に設定することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】負圧を発生させる負圧発生部と、電子部品を前記負圧発生部の作動により把持可能な把持部と、前記負圧発生部と前記把持部との間に配置され、流体が通過可能な流路と、前記電子部品が載置される載置部と、前記流路内の圧力を検出する検出部と、を備え、前記把持部を前記載置部に対して第1基準高さまで移動させ、前記検出部により前記圧力を検出し、前記検出部の検出結果に基づいて、前記把持部を前記載置部に対して接近または離間させ、前記検出部により検出される前記圧力が変化するまでの前記載置部に対する前記把持部の所定高さを第2基準高さとすることを特徴とする電子部品搬送装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

負圧を発生させる負圧発生部と、 電子部品を前記負圧発生部の作動により把持可能な把持部と、 前記負圧発生部と前記把持部との間に配置され、流体が通過可能な流路と、 前記電子部品が載置される載置部と、 前記流路内の圧力を検出する検出部と、を備え、 前記把持部を前記載置部に対して第1基準高さまで移動させ、 前記検出部により前記圧力を検出し、 前記検出部の検出結果に基づいて、前記把持部を前記載置部に対して接近または離間させ、 前記検出部により検出される前記圧力が変化するまでの前記載置部に対する前記把持部の所定高さを第2基準高さとすることを特徴とする電子部品搬送装置。

IPC (1件)：

G01R 31/26

FI (1件)：

G01R31/26 Z

Fターム (5件)：

2G003AA07 ,  2G003AD01 ,  2G003AG11 ,  2G003AH01 ,  2G003AH04