特許
J-GLOBAL ID：201703020903236204
円盤状基板を取り扱う装置、及び支持アダプター
スフェン・ハンゼン
, スフェン・ハンゼン について
ヘンリク・ペトリ
ヘンリク・ペトリ について
出願人/特許権者：
ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング について
代理人 (3件)： 山田 卓二 , 田中 光雄 , 中野 晴夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-100357
公開番号（公開出願番号）：特開2016-224435
出願日： 2016年05月19日
公開日（公表日）： 2016年12月28日
要約：
【課題】円盤状基板を取り扱う装置及び支持アダプターを提供する。【解決手段】円盤状基板を取り扱い、支持部14を備えた装置10を開示し、この支持部は、円盤状基板用の支持面16と、支持部に結合可能であり円盤状基板を取り扱うのに使用されるマスク22を支持可能な支持アダプター20とを有する。支持部14への支持アダプター20の結合を検出するインタフェース24が設けられ、及び、インタフェース24と協働し支持アダプター20が支持部14に結合されているか否か、特にインタフェース24がふさがれているか否かを検出するコントロールシステム36が設けられる。さらにこのタイプの装置10で使用される支持アダプター20を開示する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
円盤状基板(18)を取り扱うための装置(10)であって、
支持部(14)を備え、この支持部は、円盤状基板(18)用の支持面(16)、及び、当該支持部(14)に結合可能で、円盤状基板(18)を取り扱うために使用されるマスク(22)を支持可能な支持アダプター(20)を有し、
ここで、支持部(14)への支持アダプター(20)の結合を検出するインタフェース(24)が設けられており、
さらに、インタフェース(24)と協働し、かつ支持アダプター(20)が支持部(14)に結合されたか否か、特にインタフェース(24)が使用されているか否かを検出するコントロールシステム(36)が設けられている、
装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (28件)：
2H197AA01
, 2H197CD02
, 2H197CD03
, 2H197CD06
, 2H197CD28
, 2H197CD29
, 2H197CD31
, 2H197HA03
, 2H197HA06
, 5F131AA02
, 5F131BA13
, 5F131CA18
, 5F131CA25
, 5F131CA32
, 5F131DA09
, 5F131DB22
, 5F131DD43
, 5F131EA02
, 5F131EB01
, 5F131FA14
, 5F131FA37
, 5F131HA24
, 5F131HA32
, 5F131KA11
, 5F131KA54
, 5F131KB07
, 5F131KB53
, 5F131KB58
引用特許：
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