特許
J-GLOBAL ID：201703020994103953

基板受け渡し位置の教示方法及び基板処理システム

発明者：
阪上 博充

阪上 博充 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (4件)： 金本 哲男 ,  亀谷 美明 ,  萩原 康司 ,  扇田 尚紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-016954
公開番号（公開出願番号）：特開2017-139251
出願日： 2016年02月01日
公開日（公表日）： 2017年08月10日
要約：
【課題】搬送装置のアームと処理装置のピンとの間で基板を受け渡す際に、鉛直方向の受け渡し位置を効率よく教示する。【解決手段】搬送アーム32を鉛直方向上方に基準位置Z1から所定距離移動させる(図5(b)、工程A2)。搬送アーム32を水平方向に移動させる(図5(c)、工程A3)。搬送アーム32を鉛直方向下方に所定距離移動させる(図5(d)、工程A4)。搬送アーム32に保持されたウェハWの、当該搬送アーム32に対する水平方向の位置を検出する(図5(g)、工程A7)。工程A1〜A7の一連工程を繰り返し行い、且つ、この一連工程を行うごとに、工程A1における基準位置を、鉛直上方に所定距離移動させる。工程A7で検出された水平方向の位置が所定位置からずれた場合の、搬送アーム32の鉛直方向の位置をウェハWの受け渡し位置と教示する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
搬送装置のアームと処理装置のピンとの間で基板を受け渡す際の鉛直方向の受け渡し位置を教示する方法であって、 前記アーム又は前記ピンを、鉛直方向の一方向に基準位置から所定距離移動させる第1の工程と、 前記アームを水平方向に移動させる第2の工程と、 前記一方向に移動させた前記アーム又は前記ピンを、鉛直方向の他方向に前記所定距離以上移動させる第3の工程と、 前記アームに保持された前記基板の、当該アームに対する水平方向の位置を検出する第4の工程と、を有し、 前記第1の工程〜前記第4の工程の一連工程を繰り返し行い、且つ、前記一連工程を行うごとに、前記第1の工程における前記基準位置を、前記一方向に前記所定距離移動させ、 前記第4の工程で検出された前記水平方向の位置が所定位置からずれた場合の、前記アーム又は前記ピンの鉛直方向の位置を前記受け渡し位置と教示することを特徴とする、基板受け渡し位置の教示方法。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/68 ,  B25J 9/22
FI (3件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/68 F ,  B25J9/22 A
Fターム (46件)：
3C707BS15 ,  3C707KS03 ,  3C707KV11 ,  3C707KX19 ,  3C707LS01 ,  3C707NS13 ,  5F131AA02 ,  5F131AA32 ,  5F131BA01 ,  5F131BA17 ,  5F131BB04 ,  5F131CA18 ,  5F131CA70 ,  5F131DA08 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB52 ,  5F131DB54 ,  5F131DB58 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131DD03 ,  5F131DD26 ,  5F131DD33 ,  5F131DD43 ,  5F131DD74 ,  5F131EB72 ,  5F131FA17 ,  5F131FA35 ,  5F131GA13 ,  5F131HA04 ,  5F131HA12 ,  5F131KA03 ,  5F131KA15 ,  5F131KA40 ,  5F131KA44 ,  5F131KA47 ,  5F131KA52 ,  5F131KB05 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32 ,  5F131KB58
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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