特許
J-GLOBAL ID：201703021106820614
集積回路検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 柴山 健一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-036867
公開番号（公開出願番号）：特開2016-136153
特許番号：特許第6194380号
出願日： 2016年02月29日
公開日（公表日）： 2016年07月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体基板、及び前記半導体基板の表面側に形成された回路部を有する集積回路を検査するための検査装置であって、
前記集積回路にテスト信号を印加するテスタと、
波長幅を有する光を発生する光源と、
前記光源で発生する光を前記半導体基板に照射する光学系と、
前記光学系により照射され、かつ、前記テスト信号に応じて前記集積回路において変調され、前記集積回路において反射された光を検出し、電気信号を出力する光検出部と、
前記電気信号の特定の周期あるいは周波数に対応する信号を解析する解析部と、を備え、
前記光源で発生する光の中心波長をλμm、前記半導体基板の屈折率をn、前記半導体基板の厚みをTμm、前記光源が発生する光の波長幅をdμmとすると、前記波長幅dは、d>7λ2/Tnである検査装置。
IPC (2件)：
G01R 31/302 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
G01R 31/28 L
, H01L 21/66 C
