特許

J-GLOBAL ID：201703021114742614

微小物検出装置

発明者： 中原 彰太 ,  岡垣 覚 ,  大牧 正幸 ,  竹下 伸夫 ,  中井 賢也 ,  榎 望 ,  中村 恵司
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (4件)： 稲葉 忠彦 ,  村上 加奈子 ,  松井 重明 ,  倉谷 泰孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-019875
公開番号（公開出願番号）：特開2017-138223
出願日： 2016年02月04日
公開日（公表日）： 2017年08月10日
要約：

【課題】第2の受光素子で照射光の強度の変動を監視する際に第2の受光素子からの反射光によって発生する迷光を防止し、第1の受光素子が粒子からの散乱光の強度を検出することができる微小物検出装置を得る。【解決手段】光照射部からの照射光3が粒子に当たって散乱した散乱光を受光して、散乱光の強度を検出する第1の受光素子6と、第1の受光素子6の出力する散乱光の強度に基づいて、粒子の個数を数えるカウント部と、照射光3の強度を検出する第2の受光素子9と、粒子の通過領域Pと第2の受光素子9との間に設けられ、粒子の通過領域Pを通り抜けた照射光3を減衰させる第1のビームトラップ7とを備え、照射光3の光軸方向に対して第2の受光素子9の受光面の法線方向が所定角度ずれるように第2の受光素子9を配置する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

気体中又は液体中の粒子に照射光を照射する光照射部と、 前記照射光が前記粒子に当たって散乱した散乱光を受光して、前記散乱光の強度を検出する第1の受光素子と、 前記散乱光を前記第1の受光素子に導く集光ミラーと、 前記第1の受光素子の出力する前記散乱光の強度に基づいて、前記粒子の個数を数えるカウント部と、 前記照射光の強度を検出する第2の受光素子と、 前記粒子の通過領域と前記第2の受光素子との間に設けられ、前記粒子の通過領域を通り抜けた前記照射光を減衰させる第1のビームトラップとを備え、 前記照射光の光軸方向に対して前記第2の受光素子の受光面の法線方向が所定角度ずれるように前記第2の受光素子を配置することを特徴とする微小物検出装置。

IPC (3件)：

G01N 21/53 ,  G01N 15/14 ,  G02B 5/00

FI (3件)：

G01N21/53 Z ,  G01N15/14 P ,  G02B5/00 B

Fターム (19件)：

2G059AA05 ,  2G059BB02 ,  2G059CC19 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059GG05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK03 ,  2G059LL01 ,  2G059LL04 ,  2G059NN05 ,  2H042AA02 ,  2H042AA09 ,  2H042AA11 ,  2H042AA15 ,  2H042AA23