特許

J-GLOBAL ID：201703021239351137

直管型ランプの成膜方法

発明者： 鹿又 憲紀 ,  折戸 日出海 ,  大野 正之 ,  米山 直人 ,  西田 定治 ,  野口 幸男 ,  内田 智也
出願人/特許権者： 岩崎電気株式会社
代理人 (1件)： 早川 利明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-262430
公開番号（公開出願番号）：特開2015-118849
特許番号：特許第6218111号
出願日： 2013年12月19日
公開日（公表日）： 2015年06月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 両端内部に電極(12,22)を備えた直管状のガラス製バルブ(11)を金属化合物溶液(21)に浸漬して、前記バルブ(11)の外表面に前記溶液(21)を塗布した後に引上げて乾燥させ、焼成して前記バルブ(11)の外表面に金属酸化物膜を形成する直管型ランプの成膜方法において、 前記バルブ(11)を水平に対して傾けた状態で前記溶液(21)への浸漬及び引上げを行い、 引上げ後乾燥完了前に前記バルブ(11)に付着した溶液膜厚を均一にする液膜均一化工程を行う ことを特徴とする直管型ランプの成膜方法。

IPC (2件)：

H01J 9/20 ( 200 6.01) ,  H01J 61/35 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01J 9/20 D ,  H01J 61/35 K

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-163731
  
• 多孔質円筒体の表面の製膜方法及びガス分離膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-083083   出願人：矢崎総業株式会社