特許
J-GLOBAL ID：201703021462005127

波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器

発明者：
北原 浩司

北原 浩司 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 渡辺 和昭 ,  西田 圭介 ,  仲井 智至
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-219138
公開番号（公開出願番号）：特開2014-071398
特許番号：特許第6186692号
出願日： 2012年10月01日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第一基板と、 前記第一基板に対向する第二基板と、 入射した光の一部を反射し、他の一部を透過し、前記第一基板に設けられた第一反射膜と、 入射した光の一部を反射し、他の一部を透過し、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対向して配置された第二反射膜と、 前記第一基板及び前記第二基板のうち、少なくともいずれか一方の基板に設けられた配線電極と、 前記第一基板及び前記第二基板のうち、前記配線電極が設けられた前記少なくともいずれか一方の基板に設けられた導電部材と、 を備え、 前記第一反射膜及び前記第二反射膜のうち、前記配線電極及び前記導電部材が設けられた前記少なくとも一方の基板に設けられた反射膜は、前記導電部材の上に積層され、当該導電部材を介して前記配線電極に接続され、 前記導電部材の厚み寸法は、前記配線電極の厚み寸法よりも小さいことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
IPC (7件)：
G02B 26/00 ( 200 6.01) ,  G01J 3/26 ( 200 6.01) ,  G01J 3/36 ( 200 6.01) ,  G01J 3/51 ( 200 6.01) ,  G01N 21/61 ( 200 6.01) ,  G01N 21/35 ( 201 4.01) ,  G01N 21/27 ( 200 6.01)
FI (7件)：
G02B 26/00 ,  G01J 3/26 ,  G01J 3/36 ,  G01J 3/51 ,  G01N 21/61 ,  G01N 21/35 ,  G01N 21/27 A
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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