研究者
J-GLOBAL ID:201801006539608980   更新日: 2024年10月31日

陣内 佛霖

Jinnai Butsurin
競争的資金等の研究課題 (2件):
  • 2019 - 2022 極微細スピントロニクスデバイスにおける微細構造表面の磁気特性評価とその制御
  • 2009 - 2010 プラズマエッチングプロセス表面反応解析に関する研究
論文 (31件):
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MISC (1件):
  • 陣内佛霖, 五十嵐純太, 渡部杏太, 深見俊輔, 大野英男. 極微細高性能磁気トンネル接合素子の開発と5G/6G時代 への展望. セラミックス. 2021. 56. 6. 418-422
特許 (3件):
  • System, method and apparatus for ion milling in a plasma etch chamber
  • Waferless Auto Conditioning
  • Layer-layer etch of non volatile materials
学位 (1件):
  • 博士(工学) (東北大学)
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