豊田紀章

トヨダノリアキ | Toyoda Noriaki

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (4件)：加工学、生産工学 , 量子ビーム科学 , ナノ材料科学 , 薄膜、表面界面物性

研究キーワード (4件)：微細加工 , クラスター , 表面改質 , イオンビーム

競争的資金等の研究課題 (4件)：

論文 (187件)：

Masaya Takeuchi, Satoru Suzuki, Masaki Nakamura, Takashi Hata, Yusuke Nishiuchi, Kaori Tada, Noriaki Toyoda. Highly sensitive electron-beam-induced X-ray detection from liquid using SiNx membrane ultrathinned by gas cluster ion beams. Japanese Journal of Applied Physics. 2024
Masaya Takeuchi, Noriaki Toyoda. Pressure resistance evaluation of an ultrathin SiNx membrane etched by a gas cluster ion beam. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2024. 550. 165317-165317
Masaya Takeuchi, Reki Fujiwara, Noriaki Toyoda. Atomic layer etching of silicon nitride film by oxygen gas cluster ion beam with acetylacetone. Japanese Journal of Applied Physics. 2023
S. Hanahara, M. Takeuchi, N. Toyoda. Surface preparation of metal films by gas cluster ion beams using organic acid vapor for Cu-Cu bonding. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 61. SF. SF1004-SF1004
豊田紀章. ガスクラスタイオン照射を用いた原子層エッチング. 応用物理. 2021. 90. 4. 239-243

MISC (44件)：

春山雄一, 森本大貴, 部家彰, 住友弘二, 豊田紀章, 伊藤省吾. 原子状水素照射による水素フリーダイヤモンドライクカーボン薄膜の選択的エッチング. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2023. 70th
豊田紀章. クラスターイオンビーム励起による表面反応と原子層エッチングへの応用. 光技術コンタクト. 2022. 60. 10. 23
春山雄一, 森本大貴, 部家彰, 住友弘二, 豊田紀章, 伊藤省吾. 水素フリーダイヤモンドライクカーボン薄膜に対する原子状水素照射量依存性. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2022. 83rd
Naoteru Shigekawa, Hideki Takagi, Masahisa Fujino, Eiji Higurashi, Nobuhiko Nishiyama, Takehito Shimatsu, Noriaki Toyoda. Low Temperature Bonding for 3D Integration FOREWORD. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 2020. 59
豊田紀章, 山田公. ガスクラスターイオンビームによる超精密加工. 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集. 2016. 55-59

書籍 (2件)：

講演・口頭発表等 (23件)：

中性ガスクラスタービームを用いたCu膜のドライALE
(第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
反応性ガス吸着とGCIB照射を用いたエッチングにおける基板冷却効果
(第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
GCIB照射で極薄化した電子線透過窓を用いた液体セルによるSEM/EDS検出の高感度化
(第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
Temperature dependence on metal etching using reactive gas adsorption and GCIB
(44th International Symposium on Dry Process 2023)
Surface modification and etching of metal films by neutral cluster beam irradiation
(44th International Symposium on Dry Process 2023)

学歴 (3件)：

学位 (1件)：

経歴 (8件)：

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委員歴 (10件)：

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受賞 (1件)：

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豊田 紀章