豊田紀章

トヨダノリアキ | Toyoda Noriaki

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (4件)：加工学、生産工学 , 量子ビーム科学 , ナノ材料科学 , 薄膜、表面界面物性

研究キーワード (4件)：微細加工 , クラスター , 表面改質 , イオンビーム

競争的資金等の研究課題 (4件)：

論文 (183件)：

Masaya Takeuchi, Noriaki Toyoda. Pressure resistance evaluation of an ultrathin SiNx membrane etched by a gas cluster ion beam. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2024. 550. 165317-165317
Masaya Takeuchi, Reki Fujiwara, Noriaki Toyoda. Atomic layer etching of silicon nitride film by oxygen gas cluster ion beam with acetylacetone. Japanese Journal of Applied Physics. 2023
S. Hanahara, M. Takeuchi, N. Toyoda. Surface preparation of metal films by gas cluster ion beams using organic acid vapor for Cu-Cu bonding. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 61. SF. SF1004-SF1004
豊田紀章. ガスクラスタイオン照射を用いた原子層エッチング. 応用物理. 2021. 90. 4. 239-243
Takashi Ikeda, Keishiro Tahara, Tomofumi Kadoya, Hiroyuki Tajima, Noriaki Toyoda, Satoshi Yasuno, Yoshiki Ozawa, Masaaki Abe. Ferrocene on Insulator: Silane Coupling to a SiO2 Surface and Influence on Electrical Transport at a Buried Interface with an Organic Semiconductor Layer. Langmuir. 2020. 36. 21. 5809-5819

MISC (42件)：

豊田紀章. クラスターイオンビーム励起による表面反応と原子層エッチングへの応用. 光技術コンタクト. 2022. 60. 10. 23
Naoteru Shigekawa, Hideki Takagi, Masahisa Fujino, Eiji Higurashi, Nobuhiko Nishiyama, Takehito Shimatsu, Noriaki Toyoda. Low Temperature Bonding for 3D Integration FOREWORD. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 2020. 59
豊田紀章, 山田公. ガスクラスターイオンビームによる超精密加工. 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集. 2016. 55-59
豊田紀章. ガスクラスターイオンビーム研究開発の最近の動向. 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集. 2016. 62-68
Toyoda Noriaki, Yamada Isao. New getting method for thinned Si using gas cluster ion beam. 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集. 2012. 27-29

書籍 (1件)：

講演・口頭発表等 (12件)：

O2-GCIBとアセチルアセトンによるSiNx膜原子層エッチングプロセスの反応機構の検討
(第70回応用物理学会春季学術講演会 2023)
反応性ガス吸着とO2-GCIBを用いたNiパターンエッチング
(第70回応用物理学会春季学術講演会 2023)
中性クラスタービーム照射とVUV光を用いた金属膜のALE
(第70回応用物理学会春季学術講演会 2023)
Atomic layer etching with gas cluster ion beam of SiNx film for photoelectron transmittance window
(35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2022)
クラスタービームによる原子レベル加工
(イノベーションジャパン2022 2022)

学歴 (3件)：

学位 (1件)：

経歴 (8件)：

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委員歴 (9件)：

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受賞 (1件)：

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豊田 紀章