原田哲男

ハラダテツヲ | Harada Tetsuo

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (1件)：量子ビーム科学

研究キーワード (2件)： EUVリソグラフィー , 軟X線光工学

競争的資金等の研究課題 (7件)：

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論文 (146件)：

Kouji Kuramoto, Yuri Ebuchi, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe. Investigation of solvent effects on the distribution of resist compositions using resonant soft X-ray scattering. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 2025. 64. 6
Hayato Ishida, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada. Development of an EUV irradiation tool in hydrogen atmosphere to evaluate EUV mask absorber durability. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 2025. 64. 3
Takeharu Motokawa, Shuhei Iguchi, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe. Nanoscale Resist-Pattern Defects Clustered in the Micron Region Found by Soft X-ray Microscopy. JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY. 2025. 38. 2. 145-150
Yuri Ebuchi, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe. Spatial Distribution Analysis of Functional Groups in Resist Thin Film Using Reflection-Mode Resonant Soft X-ray Scattering. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2024. 37. 6. 591-595
Tsukasa Sasakura, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe. Observation Result of Chemical Composition Distribution of Resist Thin Film by Photoemission Electron Microscopy. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2024. 37. 6. 585-590

MISC (200件)：

原田哲男. EUVリソグラフィ用の実露光波長マスク検査装置の開発. レーザー研究. 2024. 52. 1. 31
原田哲男. BL-9Cビームライン【JST機械翻訳】. LASTI Annual Report (Web). 2024. 25
原田哲男. BL-10ビームライン【JST機械翻訳】. LASTI Annual Report (Web). 2024. 25
志賀竜太, 山川進二, 原田哲男. 主鎖切断型レジストのEUV照射による現像特性評価. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2024. 85th
石田隼登, 山川進二, 原田哲男. 水素雰囲気中における高強度EUV照射によるEUVマスク吸収体の評価. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2024. 85th

特許 (4件)：

学歴 (3件)：

学位 (1件)：

経歴 (6件)：

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原田 哲男