原田哲男

ハラダテツヲ | Harada Tetsuo

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (1件)：量子ビーム科学

研究キーワード (2件)： EUVリソグラフィー , 軟X線光工学

競争的資金等の研究課題 (7件)：

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論文 (136件)：

Takahiro Ueda, Marcio D. Lima, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe, Takeshi Kondo. EUV durability of CNT pellicles for next-generation scanner. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 3
Rikuya Imai, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe. Present Status of EUV Interference Lithography at NewSUBARU. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2023. 36. 1. 53-59
Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Koji Nakanishi, Takeo Watanabe. Characterization of Photoacid Generator Bound Resist with X-ray Absorption Spectroscopy at NewSUBARU. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2023. 36. 1. 47-52
Atsunori Nakamoto, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe. Spatial Distribution Analysis of Polymers in Resist Thin Film by Reflection-mode Resonant Soft X-ray Scattering. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2023. 36. 1. 41-45
Shuhei Iguchi, Tetsuo Harada, Shinji Yamakawa, Takeo Watanabe, Takeharu Motokawa. Spatial Distribution Imaging of Resist Thin Film with Micrometer Resolution using Reflection Type Soft X-ray Projection Microscope. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2023. 36. 1. 25-30

MISC (190件)：

原田哲男. EUVリソグラフィ用の実露光波長マスク検査装置の開発. レーザー研究. 2024. 52. 1
原田哲男. EUVリソグラフィ用の実露光波長マスク検査装置の開発-Development of At-Wavelength Mask Microscopes for EUV Lithography-「高出力短波長光源開発とその応用技術の進展」特集号. レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会編. 2024. 52. 1. 31-35
渡邊健夫, 原田哲男, 山川進二. EUVリソグラフィー技術開発の現状および今後の展開について. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2023. 70th
篭島靖, 上杉健太朗, 亀島敬, 高橋幸生, 武市泰男, 竹内晃久, 原田哲男, 松本浩典, 三村秀和, 矢代航. 光学界の将来ビジョン X線・極端紫外光における真の回折限界に向けて. 光学. 2022. 51. 4
中本敦啓, 山川進二, 原田哲男, 渡邊健夫. レジスト薄膜中の空間分布測定を目的とした軟X線反射型共鳴散乱の検討. X線分析討論会講演要旨集. 2022. 58th

特許 (4件)：

学歴 (3件)：

学位 (1件)：

経歴 (6件)：

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原田 哲男