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J-GLOBAL ID：201802210061024936   整理番号：18A1626490

高速AFMによるAu(100)上での銅およびPEG吸着のその場観察

著者 (4件)： 安田洋平 (北大 大学院) ,  吉岡大騎 (北大 大学院) ,  松島永佳 (北大 大学院) ,  上田幹人 (北大 大学院)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 138th  ページ： 133  発行年： 2018年08月31日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *半導体プロセス ,  *電気めっき ,  配線 ,  精密化 ,  めっき液 ,  添加剤 ,  *抑制剤 ,  ポリエチレンオキシド ,  原子間力顕微鏡 ,  析出 ,  吸着 ,  その場観察 ,  *銅めっき
準シソーラス用語： AFM【顕微鏡】 ,  *ダマシンプロセス ,  銅配線 ,  抑制メカニズム

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電気めっき  (WC08023B)

タイトルに関連する用語 (6件)： AFM ,  Au ,  銅 ,  PEG ,  吸着 ,  その場観察