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J-GLOBAL ID：201802210758748881   整理番号：18A0944311

ピエゾ抵抗MEMS加速度計に及ぼす液体パッケージングの影響【JST・京大機械翻訳】

Liquid packaging effects on piezoresistive MEMS accelerometer

著者 (6件)： Liu Xixiang (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of SuzhouNano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Jiang Weile (School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Zhao Libo (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of SuzhouNano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Jia Chen (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of SuzhouNano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Yu Mingzhi (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of SuzhouNano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Jiang Zhuangde (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of SuzhouNano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： INERTIAL  ページ： 1-4  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS(微小電気機械システム)加速度計は振動と衝撃検出に広く使われている。圧電抵抗加速度計は,通常の空気パッケージを持つ市場において,広く使われているセンサの一つである。しかし,それが高い衝撃環境で使用されるとき,その脆弱な敏感な部分は損傷を得るかもしれない。本論文では,圧電抵抗加速度計のパッケージシェルを充填するために空気の代わりに非導電性液体を用いることを試みた。その感度と測定範囲を,包装シェルがそれぞれグリセリン,シクロヘキサン,およびシリコン油で満たされたときに分析した。また,グリセリン,シクロヘキサン,およびシリコンオイルパッケージによるその共振周波数を分析した。結論は,液体パッケージが,厳しい環境におけるピエゾ抵抗MEMS加速度計のための空気パッケージより適切であるということである。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 衝撃 ,  センサ ,  *MEMS ,  シリコーン油 ,  共振周波数 ,  *加速度計 ,  シクロアルカン
準シソーラス用語： 脆弱性 ,  *圧電抵抗 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

物質索引 (1件)： シクロヘキサン

タイトルに関連する用語 (4件)： ピエゾ抵抗 ,  MEMS ,  加速度計 ,  パッケージング