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J-GLOBAL ID：201802211469678459   整理番号：18A1085659

新型二軸容量型加速度センサ設計【JST・京大機械翻訳】

Design of novel dual-axis capacitive acceleration sensor

著者 (4件)： Zhu Binbin (杭州電子科技大学微電子CAD研究所,浙江杭州,310018) ,  Wang Luwen (杭州電子科技大学微電子CAD研究所,浙江杭州,310018) ,  Wen Fei (杭州電子科技大学微電子CAD研究所,浙江杭州,310018) ,  Wang Gaofeng (杭州電子科技大学微電子CAD研究所,浙江杭州,310018)
資料名： Chuanganqi yu Wei Xitong  (Chuanganqi yu Wei Xitong)
巻： 37  号： 2  ページ： 83-85  発行年： 2018年 
JST資料番号： C3686A  ISSN： 1000-9787  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 多軸加速度検出を実現するために,内部と外部の2つの質量ブロックから成る新しい二軸容量型加速度センサを設計し,それぞれ4つの折り畳み梁によって支持した。センサーは固定櫛歯と活動櫛歯間の距離変化により両者の容量値が変化し、最終的に加速度が測定される。ANSYSシミュレーションにより,センサの変位感度が0.0845μm/gn(X軸)と0.1381μm/gn(Y軸)であることを示した。構造の第3次共振周波数はそれぞれ1.34,1.71,14.48kHzであり,各次数のモード周波数の差が大きいため,軸外信号の干渉を避ける。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 折畳み ,  *センサ ,  共振周波数 ,  *加速度 ,  *二軸 ,  シミュレーション ,  多軸 ,  周波数
準シソーラス用語： ANSYS , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： dual-axis ,  capacitive type ,  acceleration sensor

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (2件)： 容量型加速度センサ ,  設計