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J-GLOBAL ID：201802211510630036   整理番号：18A0920556

広視野レーザ顕微鏡/干渉計

Laser Microscope / Interferometer with Wide Field of View

著者 (2件)： 新田勇 (新潟大学 自然科系(工学部)) ,  月山陽介 (新潟大学 自然科系(工学部))
資料名： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
巻： 63  号： 4  ページ： 276-279(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・本稿では,著者らの研究グループで開発された数百倍~数千倍の観察倍率を達成でき,かつcmレベルの広い観察視野を有する表面観察用広視野レーザ顕微鏡の原理とそれを応用した三次元形状計測装置および干渉計を紹介。
・まず,基本原理と装置構成(観察対象に短波長レーザを垂直に集光し回転ミラーにより高速に走査)を説明し,その上で開発・試作で苦労した点(広視野で高い分解能の観察のためには,微小なレーザスポット径の広範囲にわたる維持が必要)を解説。
・次に,計測および評価事例として,500円硬貨表面の観察例とマイクロ文字の観察,ゴムローラの実接触面と微小すべり量分布,エンドミルの全面観察画像と刃先の拡大画像,人工心臓弁の表面観察結果,レンズ金型の三次元形状計測事例,そして接触面における平均接触面間距離観察例を紹介。

シソーラス用語： *視野 ,  *光学顕微鏡 ,  *計測器 ,  レーザビーム ,  共焦点レーザ顕微鏡 ,  事例研究 ,  深さプロフィル ,  高分解能 ,  回転 ,  反射鏡 ,  *レーザ干渉計 ,  三次元測定 ,  形状測定 ,  スポット径 ,  *レーザ顕微鏡 ,  *広視野 ,  三次元測定器
準シソーラス用語： 三次元形状計測装置

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (3件)： 広視野 ,  レーザ顕微鏡 ,  干渉計