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J-GLOBAL ID：201802211891029342   整理番号：18A0650547

表面補償の高いZnO:Alおよびシリコン薄膜太陽電池への応用【JST・京大機械翻訳】

High Haze Textured ZnO:Al with Surface Compensation and Its Applications in Silicon Thin Film Solar Cell

著者 (6件)： Peng Wenbo (中国華能集団清潔能源技術研究院有限公司,北京,102209) ,  Liu Dawei (中国華能集団清潔能源技術研究院有限公司,北京,102209) ,  Gao Hu (中国華能集団清潔能源技術研究院有限公司,北京,102209) ,  Huang Yanhong (河北大学物理科学与技術学院,保定,071002) ,  Yang Yanbin (河北大学物理科学与技術学院,保定,071002) ,  Yu Wei (河北大学物理科学与技術学院,保定,071002)
資料名： Rengong Jingti Xuebao  (Rengong Jingti Xuebao)
巻： 46  号： 10  ページ： 1930-1935  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0398A  ISSN： 1000-985X  CODEN： RJXUEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリングによって調製された平面アルミニウム酸化亜鉛(ZnO:Al,AZO)薄膜の表面に湿式エッチングを行い,塩酸濃度とエッチング時間がAZO薄膜の表面形態と光電気特性に及ぼす影響を分析した。その結果,湿式エッチングにより,AZO膜の表面に大規模なクレータが形成され,エッチング時間が増加するにつれて,500nmより長い波長範囲での光学的透過率は70%~75%に維持され,800nmでは48%に達することが分かった。光抵抗は急速に増加し,一方,表面抵抗率は増加傾向を示した。高い塩酸濃度は薄膜の表面に速い凹型の形態特徴を示し、高い霧度値を与えることができる。膜の導電性を改善するために,2%の酸エッチングによる30sの蒸着により,300nmのAZO膜を厚さ補償し,膜の表面抵抗は10Ω/sq以下であった。単結晶薄膜電池の変換効率は,前電極として9.24%に達した。結果により、酸性エッチング+厚さ補償法により調製した絨毛面AZO薄膜は、高い霧度と低い抵抗の性能要求を兼ねることができ、シリコン薄膜太陽電池の前電極としての理想的な材料であることが分かった。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,  *薄膜 ,  *ケイ素 ,  *電池 ,  ウェットエッチング ,  塩酸 ,  表面抵抗 ,  透過率 ,  エッチング ,  *酸化亜鉛 ,  電気特性 ,  *アルミニウム
準シソーラス用語： 変換効率 ,  表面形態 ,  *薄膜太陽電池 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ZnO:Al ,  wet-etching ,  solar cell ,  haze

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 補償 ,  ZnO ,  Al ,  シリコン ,  薄膜太陽電池 ,  応用