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J-GLOBAL ID：201802212082881166   整理番号：18A2043963

電気化学エッチングによるn型Ge(100)の予想外のピラミッド組織化 架橋表面化学と形態【JST・京大機械翻訳】

Unexpected Pyramid Texturization of n-Type Ge (100) via Electrochemical Etching: Bridging Surface Chemistry and Morphology

著者 (8件)： Abrenica Graniel Harne A. (IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium) ,  Lebedev Mikhail V. (A.F. Ioffe Physical Technical Institute RAS; St.-Petersburg, Russian Federation, 194042) ,  Le Hy (IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium) ,  Hajduk Andreas (Darmstadt University of Technology, Institute of Materials Science; Petersenstrasse 23, Darmstadt, 64287, Germany) ,  Fingerle Mathias (Darmstadt University of Technology, Institute of Materials Science; Petersenstrasse 23, Darmstadt, 64287, Germany) ,  Mayer Thomas (Darmstadt University of Technology, Institute of Materials Science; Petersenstrasse 23, Darmstadt, 64287, Germany) ,  de Gendt Stefan (IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium) ,  van Dorp Dennis H. (IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
資料名： Solid State Phenomena  (Solid State Phenomena)
巻： 282  ページ： 94-98  発行年： 2018年 
JST資料番号： T0583A  ISSN： 1012-0394  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々の分析および分光法を用いて,酸性ハロゲン化物溶液中のn型Ge(100)の(電気)化学エッチング挙動,表面形態および組成について報告した。大気からの酸素の効果を除外するために,X線光電子分光装置に接続した集積(電気)化学エッチングチャンバーの使用を強調した。Copyright 2018 Trans Tech Publications Ltd. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *界面化学 ,  *形態 ,  酸性 ,  酸素 ,  X線光電子分光法 ,  *エッチング ,  異方性 ,  ハロゲン化物 ,  *ゲルマニウム ,  *角錐 ,  *ウェットエッチング ,  スペクトロスコピー
準シソーラス用語： 表面形態 ,  *電気化学エッチング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： エッチング ,  ゲルマニウム ,  表面化学 ,  ハロゲン化物 ,  異方性 ,  ピラミッドテクスチャ化

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 電気化学エッチング ,  Ge ,  予想 ,  ピラミッド ,  組織化 ,  架橋 ,  表面化学 ,  形態