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J-GLOBAL ID:201802212315196885   整理番号:18A1208239

不連続Auナノ粒子膜を通る電気浸透【JST・京大機械翻訳】

Electrical percolation through a discontinuous Au nanoparticle film
著者 (4件):
資料名:
巻: 112  号: 25  ページ: 251602-251602-4  発行年: 2018年 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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5~20nmの範囲の厚さのAu薄膜を,5μmの分離を有するPt交差指電極で修飾したガラス基板上に物理蒸着によりUHV中で成長させた。予想されるように,膜の電気抵抗の緩やかな減少が成長と共に観察された。しかし,平均膜厚が約11nmより大きいとき,抵抗減少は滑らかではなく,離散段階で起こった。これらの抵抗ステップは電極を接続する電気パーコレーション経路の形成に起因する。次に,試料を,絶縁性ナノ粒子膜を製造する目的で,1~22時間の間,200°C~500°Cの温度でアニールした。Au膜の脱濡れは,サイズと分離がアニーリング温度と時間に依存し,Au膜の初期厚さに依存するナノ粒子を生成する。膜の複雑な電気抵抗挙動も脱濡れ過程でモニターした。(翻訳著者抄録)【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
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半導体集積回路 
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