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J-GLOBAL ID：201802212409091328   整理番号：18A1405268

マグネシアドープ酸化亜鉛薄膜の調製とその性能研究【JST・京大機械翻訳】

Preparation and Properties of Magnesium and Yttrium Doped Zinc Oxide Thin Films

著者 (3件)： Zhong Zhiyou (中南民族大学 電子信息工程学院,武漢430074;中南民族大学 智能无線通信湖北省重点実験室,武漢430074) ,  Kang Huai (中南民族大学 電子信息工程学院,武漢,430074) ,  Long Hao (中南民族大学 電子信息工程学院,武漢,430074)
資料名： Zhongnan Minzu Daxue Xuebao (Ziran Kexue Ban)  (Zhongnan Minzu Daxue Xuebao (Ziran Kexue Ban))
巻： 37  号： 1  ページ： 66-72  発行年： 2018年 
JST資料番号： C3234A  ISSN： 1672-4321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マグネシウムイットリウムドープZnO(ZnO)セラミックターゲットをスパッタリングターゲットとし、ラジオ周波数マグネトロンスパッタリング技術を用いて、ガラス基質上にMgイットリウムドープZnO(MYZO)薄膜サンプルを作製した。X線回折計と分光光度計の測定により、薄膜の厚さがMYZOサンプルの構造及び光学特性に与える影響を研究した。その結果;MYZOサンプルは六方晶ウルツ鉱型の多結晶構造であり、その優先配向成長特性は薄膜の厚さに明らかに影響を受け、薄膜の厚さが290nmの時、薄膜の厚さが大きくなった。さらに,光学エネルギーギャップ,屈折率および消光係数を,光学的キャラクタリゼーション法によって得た。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 光学的性質 ,  *酸化亜鉛 ,  六方晶系 ,  周波数 ,  マグネトロンスパッタリング ,  屈折率 ,  エネルギーギャップ ,  *ドーピング ,  *薄膜 ,  キャラクタリゼーション ,  ガラス ,  優先配向 ,  多結晶
準シソーラス用語： 消光係数 ,  ウルツ鉱 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： magnetron sputtering ,  doped zinc oxide ,  thin films ,  optical properties

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (5件)： マグネシア ,  ドープ ,  酸化亜鉛薄膜 ,  調製 ,  研究